一种单晶炉自动化上下料管理系统及自动化生产系统技术方案

本发明专利技术涉及单晶炉生产控制技术领域，特别涉及一种单晶炉自动化上下料管理系统及自动化生产系统。在晶体生产过程中，采用机器人对所述单晶炉进行上料，替代人工上料操作，节约生产时间，确保每次操作的一致性，减少人工的影响，同时，达到对生产设备的无纸化、无人化的集中管理和控制，并对生产数据进行监控，保证生产设备的稳定运行，提升了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单晶炉生产控制，特别涉及一种单晶炉自动化上下料管理系统及自动化生产系统。

技术介绍

1、随着晶体生长技术的不断发展,对晶体生长技术的可操作性需求不断提高。在当前半导体行业里，单晶炉主要采用的是单机生产模式，这种模式依赖于人工投料、人工数据记录的手段来进行生产控制，在人工操作的过程中，由于人为因素的影响会出现各种差异，特别对多台单晶炉工艺诊断和数据统计、问题溯性造成了一定的难度，因此，现有的多台单晶炉的生产模式存在着生产效率低下、人工成本较高、不方便溯源的问题，极大地影响了产线生产产能的发挥。

技术实现思路

1、本专利技术为解决上述技术问题，提供一种单晶炉自动化上下料管理系统及自动化生产系统。

2、一种单晶炉自动化上下料管理系统，包括：

3、坩埚控制模块、单晶炉控制模块、总控模块、搬运控制模块，所述总控模块与所述坩埚控制模块、所述单晶炉控制模块、所述搬运控制模块相连；

4、所述坩埚控制模块用于获取多台单晶炉对应的坩埚识别编码信息并向所述总控模块输出所述单晶炉对应本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征在于，当进行上料操作时，所述坩埚控制模块获取所述单晶炉对应的坩埚识别编码信息并向所述总控模块输出所述单晶炉对应坩埚识别编码信息；

3.如权利要求2所述的一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征在于，所述总控模块向所述单晶炉控制模块输出上料操作请求，所述上料请求包括需上料的单晶炉编号，所述单晶炉控制模块接收需上料的单晶炉编号后，将所述单晶炉绑定的坩埚识别编码信息输出至所述总控模块。

4.如权利要求1所述的一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征在于，当进行上料操作时，所述坩埚控制模块获取所述单晶炉对应的坩埚识别编码信息并向所述总控模块输出所述单晶炉对应坩埚识别编码信息；

3.如权利要求2所述的一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征在于，所述总控模块向所述单晶炉控制模块输出上料操作请求，所述上料请求包括需上料的单晶炉编号，所述单晶炉控制模块接收需上料的单晶炉编号后，将所述单晶炉绑定的坩埚识别编码信息输出至所述总控模块。

4.如权利要求1所述的一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征在于，当进行下料操作时，所述单晶炉控制模块向所述总控模块输出晶体生长完成信号并输出所述单晶炉对应的坩埚识别编码信息；

5.如权利要求1所述的一种单晶炉自动化上下料管理系统，其特征在于，所述坩埚控制模块还用于获取坩埚质量信息、坩埚位置信息，向所述总控模块输出坩埚质量信息、向所述搬运控制模块输出坩埚位置信息；

6.一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：花德绪，王明华，
申请(专利权)人：浙江材孜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：