操作粒子束设备的方法、计算机程序产品和粒子束设备技术

本发明专利技术涉及一种操作粒子束设备的方法、计算机程序产品和粒子束设备。该方法具有以下步骤：将带电粒子的粒子束引导到物体的表面上的第一位置；使用检测器单元检测第一相互作用粒子和/或第一相互作用辐射；使粒子束朝一个方向并围绕布置在物体的表面上的旋转点相对旋转可指定的角度，相对旋转是在旋转平面上实现的，并且相对旋转通过以下方式实现：(i)使粒子束旋转，和/或(ii)使粒子束设备的粒子束柱旋转，和/或(iii)使载物台旋转；将粒子束引导到物体的表面上的第二位置，粒子束的引导是通过粒子束沿物体的表面并在旋转平面上的直线相对移动实现的；以及使用检测器单元检测第二相互作用粒子和/或第二相互作用辐射。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种操作粒子束设备的方法。本专利技术还涉及一种计算机程序产品和一种实施该方法的粒子束设备。

技术介绍

1、电子束设备、特别是扫描电子显微镜(下文又称为sem)和/或透射电子显微镜(下文又称为tem)用于检查物体(样本)以便获得关于在某些条件下的特性和行为的了解。

2、在sem中，通过束发生器来产生电子束(下文又称为一次电子束)，并通过束引导系统使电子束聚焦在要检查的物体上。通过偏转装置以扫描方式将一次电子束引导在要检查的物体的表面上。在该过程中，一次电子束的电子与要检查的物体相互作用。作为相互作用的结果，特别地，电子是由物体发射的(所谓的二次电子)并且一次电子束的电子是背散射的(所谓的背散射电子)。二次电子和背散射电子被检测并用于产生图像。如此获得了要检查的物体的图像表示。另外，由于相互作用而产生相互作用辐射，例如x射线辐射和阴极发光光线。特别地，相互作用辐射用于分析物体。

3、在tem的情况下，同样通过束发生器来产生一次电子束，并且通过束引导系统使一次电子束聚焦在要检查的物体上。一次电子束穿过要检查的物体。当一次电子本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种操作用于对物体(125，425)进行成像、分析和/或加工的粒子束设备(100，200，400)的方法，其中，该方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，该粒子束到该第二位置(RP，RP1，RP2，RPa，RPb，RPc，RPd)的引导首先在该物体(125，425)的表面上实现，其次在该旋转平面上实现。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，实现该相对旋转的方向是第一方向，其中，该可指定的角度是第一可指定的角度，其中，该直线相对移动是第一直线相对移动，其中，该旋转点是第一旋转点，其中，该旋转平面是第一旋转平面，以及其中，该方法包括以下方法步骤...

【技术特征摘要】

1.一种操作用于对物体(125，425)进行成像、分析和/或加工的粒子束设备(100，200，400)的方法，其中，该方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，该粒子束到该第二位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)的引导首先在该物体(125，425)的表面上实现，其次在该旋转平面上实现。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，实现该相对旋转的方向是第一方向，其中，该可指定的角度是第一可指定的角度，其中，该直线相对移动是第一直线相对移动，其中，该旋转点是第一旋转点，其中，该旋转平面是第一旋转平面，以及其中，该方法包括以下方法步骤组中的组：组1

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该方法包括以下方法步骤组中的组：

5.一种操作用于对物体(125，425)进行成像、分析和/或加工的粒子束设备(100，200，400)的方法，其中，该方法包括以下步骤：

6.根据权利要求5所述的方法，其中，该方法包括以下步骤：

7.根据权利要求5和6中任一项所述的方法，其中，该方法包括以下步骤中的至少一个：

8.根据权利要求5至7中任一项所述的方法，其中，实现该相对旋转的方向是第一方向，其中，该可指定的角度是第一可指定的角度，其中，该旋转点是第一旋转点，其中，该旋转点距离l是第一旋转点距离l1，以及其中，该方法包括以下方法步骤：

9.根据权利要求5至8中任一项所述的方法，其中，该旋转点是多个旋转点中的旋转点，其中，该多个旋转点中的每个旋转点分别布置在该物体(125，425)中与该物体(125，425)的表面相距旋转点距离li，以及其中，该方法包括以下方法步骤：

10.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，该方法包括以下步骤之一：

11.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，包括以下步骤中的一个：

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，

13.根据权利要求12所述的方法，包括以下步骤中的至少一个：

14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，包括以下步骤中的至少一个：

15.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该方法包括以下步骤中的至少一个：

16.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该可指定的角度是第一直线与第二直线之间的角度，其中，该第一直线延伸穿过该第一位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)，其中，该第二直线延伸穿过该第二位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)，以及其中，该方法包括以下步骤中的至少一个：

17.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该第一位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)和该第二位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)布置在扫描区域(rb，rb1，rb2)中，其中，该扫描区域(rb，rb1，rb2)包括多个扫描点(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)，其中，该第一位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)是该多个扫描点(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)中的第一扫描点，其中，该第二位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)是该多个扫描点(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)中的第二扫描点，其中，两个直接相邻的扫描点(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)彼此间隔开，之间有扫描间距(ra)，以及其中，该方法包括以下步骤：

18.根据前述权利要求中任一项但始终结合权利要求4或9所述的方法，其中，该第五位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)和该第六位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)布置在另一扫描区域(rb，rb1，rb2)中，其中，该另一扫描区域(rb，rb1，rb2)包括多个扫描点(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)，其中，该第五位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)是该另一扫描区域(rb，rb1，rb2)的多个扫描点(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)中的另一第一扫描点，其中，该第六位置(rp，rp1，rp2，rpa，rpb，rpc，rpd)是该另一扫描区域(rb，rb1，rb2)的多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·普瑞科斯扎斯，K·威克，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：