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本发明涉及一种操作粒子束设备的方法、计算机程序产品和粒子束设备。该方法具有以下步骤：将带电粒子的粒子束引导到物体的表面上的第一位置；使用检测器单元检测第一相互作用粒子和/或第一相互作用辐射；使粒子束朝一个方向并围绕布置在物体的表面上的旋转点...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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