真空泵系统技术方案

本申请涉及一种真空泵系统，包括水环真空泵、进水管道、吸入管道及第一泄压阀，水环真空泵上设置有粉尘进口、第一进水口及第一出水口；进水管道与第一进水口相连通，进水管道上设置有第一电磁阀，吸入管道与粉尘进口相连通；第一泄压阀设置于水环真空泵上。本申请通过设置水环真空泵、进水管道及吸入管道，水可通过进水管道、粉尘通过吸入管道均能够进入至水环真空泵内，水环真空泵可提供负压，在保持高真空度和大吸入流量的同时，可允许真空环境中有水，粉尘等颗粒存在，满足大部分半导体设备的需求；通过设置第一泄压阀，可防止水环真空泵内部压力过大，产生振动，损坏真空泵。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及真空泵，特别是涉及一种真空泵系统。

技术介绍

1、真空技术目前广泛应用于半导体、微电子、材料科学等领域。传统的真空元件如真空发生器、真空泵等，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵以其真空效果好、运行平稳、能耗低、寿命长等特性，广泛应用于化工、微电子、半导体、医疗等领域。

2、相关技术中，普通真空泵普遍存在耗气量大、真空度低、噪音大、真空环境不允许水和粉尘等颗粒存在的缺点。特别是在半导体制造
中，晶圆减薄、刀轮切割、面板加工等设备抽真空时，真空腔体里会有大量的水混合着粉尘存在，使用普通真空泵容易造成堵塞，导致真空度出现波动的现象，从而影响吸附效果，进而导致真空泵损坏。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种能够保持高真空度和大吸入流量的同时，且可允许真空环境中有水，粉尘等颗粒存在，可有效避免出现堵塞的现象的真空泵系统。

2、一种真空泵系统，包括：

3、水环真空泵，所述水环真空泵上设置有与所述水环真空泵内部相连通的粉尘进口、第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空泵系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于，所述进水管道(110)包括冷却水管道(112)、生活用水管道(113)及连通管道(114)，所述连通管道(114)的一端与所述第一进水口相连通，所述连通管道(114)的另一端与所述冷却水管道(112)及生活用水管道(113)相连通，所述第一电磁阀(111)设置于所述连通管道(114)上。

3.根据权利要求2所述的真空泵系统，其特征在于，还包括冷却水控制组件(300)，所述冷却水控制组件(300)包括冷却水流通通道(310)、第一分水通道(320)及第二分水通道(330)及汇流通...

【技术特征摘要】

1.一种真空泵系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空泵系统，其特征在于，所述进水管道(110)包括冷却水管道(112)、生活用水管道(113)及连通管道(114)，所述连通管道(114)的一端与所述第一进水口相连通，所述连通管道(114)的另一端与所述冷却水管道(112)及生活用水管道(113)相连通，所述第一电磁阀(111)设置于所述连通管道(114)上。

3.根据权利要求2所述的真空泵系统，其特征在于，还包括冷却水控制组件(300)，所述冷却水控制组件(300)包括冷却水流通通道(310)、第一分水通道(320)及第二分水通道(330)及汇流通道(340)，所述第一分水通道(320)及所述第二分水通道(330)的一端与所述冷却水流通通道(310)连通，所述第一分水通道(320)及所述第二分水通道(330)的另一端与所述汇流通道(340)连通，所述第一分水通道(320)及所述第二分水通道(330)上分别设置有节流阀(350)，所述汇流通道(340)与所述冷却水管道(112)相连通。

4.根据权利要求3所述的真空泵系统，其特征在于，所述汇流通道(340)内设置有流量检测模块，所述流量检测模块用于检测所述汇流通道(340)内水的流量；所述第一分水通道(320)及所述第二分水通道(330)上的所述节流阀(350)被配置响应于所述流量检测模块，调整其开合度。

5.根据权利要求3所述的真空泵系统，其特征在于，所述冷却水控制组件(300)还包括分水件(360)，所述分水件...

【专利技术属性】
技术研发人员：祁大伟，王正根，孙伟，马林，于君波，彭蔚培，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：