一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置及其抛光方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，它包括：安装台，其上安装有驱动磁场直线移动的直线滑轨模组；永磁铁，其安装在直线滑轨模组上；气浮连接板，其固定在直线滑轨模组上，所述永磁铁安装在气浮连接板上；支撑架，其中部具有让位孔，所述支撑架通过支撑杆安装在安装台上且位于永磁铁上方；所述安装台上还设置有的驱动器、容器、液压泵以及换向阀，所述支撑架的让位孔内侧开设有晶圆定向平台，所述支撑架一端开设有注入孔，所述支撑架另一端开设有回收孔。其通过直线滑轨模组将永磁铁在晶圆下方作往复运动使磁力抛光液在晶圆表面亦作往复运动，从而进行抛光工作，整个装置占地面积小，成本低，满足微结构晶圆表面抛光需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置及其抛光方法。

技术介绍

1、抛光加工技术是一种用于改善工件表面光洁度和减少表面粗糙度的工艺。

2、通过使用磨料或抛光剂对工件表面进行磨削和摩擦，抛光可以使表面更光滑、更亮，常用于金属、玻璃、塑料等材料的表面处理。常用的抛光方法包括：机械抛光是利用磨具(如砂轮、磨料带等)对工件表面进行机械摩擦，常用于金属和塑料制品。化学抛光是通过化学溶液腐蚀工件表面，使其达到光滑效果。适用于金属材料。

3、电解抛光是利用电解液和电流对工件表面进行处理，能够精细地去除表面微小的不平整。

4、超声波抛光是结合超声波振动和抛光液，对工件表面进行高效处理，适用于复杂形状和硬质材料。该技术的应用领域非常广泛，包括汽车零部件、工具、模具、镜片、光学仪器、半导体、微电子器件、珠宝、钟表等。通过该加工工艺处理，可以提高表面质量：显著减少表面粗糙度，使工件表面光滑有光泽。

5、磁力抛光是一种利用磁场控制磁性磨料对工件表面进行精细加工的抛光技术，现有的磁力抛光装置在对晶圆表面抛光加工时的质量难以达标，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于，它包括：

2.根据权利要求1所述的一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于：所述支撑架的让位孔上方设置有红外线加热灯。

3.根据权利要求1所述的一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于：所述气浮连接板上设有供永磁铁安装的安装座，所述气浮连接板一侧开设有进气孔，所述安装座上开设有与进气孔连通的出气孔。

4.根据权利要求1所述的一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于：所述支撑架下端设有安装固定脚，所述支撑杆与安装固定脚连接。

5.根据权利要求1所述的一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于，它包括：

2.根据权利要求1所述的一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于：所述支撑架的让位孔上方设置有红外线加热灯。

3.根据权利要求1所述的一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于：所述气浮连接板上设有供永磁铁安装的安装座，所述气浮连接板一侧开设有进气孔，所述安装座上开设有与进气孔连通的出气孔。

4.根据权利要求1所述的一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于：所述支撑架下端设有安装固定脚，所述支撑杆与安装固定脚连接。

5.根据权利要求1所述的一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李青松，郭宗福，
申请(专利权)人：浙江蓝特光学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：