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本发明提供了一种柱面微结构晶圆磁力抛光装置，它包括：安装台，其上安装有驱动磁场直线移动的直线滑轨模组；永磁铁，其安装在直线滑轨模组上；气浮连接板，其固定在直线滑轨模组上，所述永磁铁安装在气浮连接板上；支撑架，其中部具有让位孔，所述支撑架通过...
该专利属于浙江蓝特光学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江蓝特光学股份有限公司授权不得商用。

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