一种图像筛选方法、装置、设备及介质制造方法及图纸

本申请公开了一种图像筛选方法、装置、设备及介质，包括：获取待筛选图像集，并确定待筛选图像集中的所有待筛选图像在目标频率下的频域图像，并生成每个频域图像的特征向量；基于特征向量对所述频域图像进行聚类得到若干聚类图像集；从每个聚类图像集分别筛选出若干聚类图像，以便得到能够表征所述待筛选图像集的筛选后图像集；所述筛选后图像集中图像的数量小于所述待筛选图像集中图像的数量。由此可见，本申请能够只使用在目标频率下的频域图像，实现稀疏采样，有利于提高处理效率，能够适用于各种场景，提高方法泛化性，且不依赖于历史数据和经验联合后续聚类的方式。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及计算机，特别涉及一种图像筛选方法、装置、设备及介质。

技术介绍

1、参见图1所示，为一种现有的待筛选图像（pattern全集）筛选的典型场景示意图，从初始的pattern全集出发，利用算法进行筛选生成一个代表性pattern的子集。对子集进行smo（source mask optimization，光源掩膜协同优化）后，对smo的结果进行验证。如果结果不好，则将hotspot（热点）图像加入子集再次进行smo并验证；如果结果良好则使用该子集对全集进行opc（ole（object linking and embedding） for process control，过程控制中的对象链接与嵌入技术）修正和验证，直到全集和子集的表现均满足要求（也即，直至收敛并且无严重hotspot），且可以比拟，则可以结束迭代，使用此source也即迭代结果进行后续的光刻工艺。该过程，主要是为了全芯片找到合适的光源。由于smo的计算非常耗时，需要选择有代表性的pattern进行计算。smo是在计算光源，验证是在查看结果是否有问题，迭代的原因是往往一次计算无法达到最本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种图像筛选方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的图像筛选方法，其特征在于，所述生成每个所述频域图像的特征向量，包括：

3.根据权利要求2所述图像筛选方法，其特征在于，所述根据预设区间划分规则从所述频域图像中划分出若干目标区间，包括：

4.根据权利要求2所述图像筛选方法，其特征在于，所述基于所述第一区间强度确定所述频域图像的特征向量，以生成每个所述频域图像的特征向量，包括：

5.根据权利要求4所述图像筛选方法，其特征在于，所述基于所述第二区间强度确定所述频域图像的特征向量，包括：

6.根据权利要求1所述图像筛选方...

【技术特征摘要】

1.一种图像筛选方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的图像筛选方法，其特征在于，所述生成每个所述频域图像的特征向量，包括：

3.根据权利要求2所述图像筛选方法，其特征在于，所述根据预设区间划分规则从所述频域图像中划分出若干目标区间，包括：

4.根据权利要求2所述图像筛选方法，其特征在于，所述基于所述第一区间强度确定所述频域图像的特征向量，以生成每个所述频域图像的特征向量，包括：

5.根据权利要求4所述图像筛选方法，其特征在于，所述基于所述第二区间强度确定所述频域图像的特征向量，包括：<...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：华芯程杭州科技有限公司，
类型：发明
国别省市：