伺服型振动检测器以及伺服型振动检测器的评价方法技术

本发明专利技术提供伺服型振动检测器以及伺服型振动检测器的评价方法。在现有伺服型加速度传感器的情况下，不得不在同时满足(1)共振峰值的降低、(2)响应性的提高、(3)传感器灵敏度提高的上述三个相反的课题的较窄的范围内构成传感器。因此，在性能提高上是有限的。通过在电极的相对移动面形成流通孔、流通槽等，使电极间空隙部中的动态流体压力引起的机械衰减作用降低，并且将该衰减作用置换为伺服放大器中的基于电路的等效的衰减单元，能够独立地设定由以往处于折衷关系的电极的间隙、外径确定的传感器灵敏度和传感器动态特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及振动传感器或除振控制装置，在较宽的频带内对相对于基台被支承、受到干扰而振动的控制对象物的加速度或者相对于惯性空间的绝对速度或绝对位移进行信号检测。

技术介绍

1、1.世界趋势

2、在半导体制造过程、液晶制造过程、精密机械加工等各种领域中，广泛地利用用于阻断、抑制微小振动的振动控制。在这些过程中使用的扫描型电子显微镜、半导体曝光装置(步进器)等微细加工、检查装置要求用于保障装置性能的严格的振动允许条件。今后，随着产品的进一步的高集成化、微细化，加工过程的高速化和装置的大型化不断进展，振动允许条件具有越来越严格的倾向。

3、2.除振装置应除去的干扰

4、近年来，主动振动控制技术正在普及，该主动振动控制技术基于来自配置于振动控制对象的结构物(例如精密除振台)的多个部位的振动传感器的位移、速度、加速度信息，制作控制信号并对控制装置进行控制。

5、图64表示现有的主动除振台的模型图。该主动除振台如专利文献1、专利文献2所记载的那样是公知的。在地面500配置有用于支承平台501的多组气压致动器(502a、5本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种伺服型振动检测器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种伺服型振动检测器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

10.一种伺服型振动检测器的评价方法，是权利要求1所述的伺服型振动检测器的评价方法，其特征在于，

11.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

12.根据权利要求1所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

13.一种伺服型振动检测器，其特征在于，具备：

14.根据权利要求13所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

15.根据权利要求13所述的伺服型振动检测器，其特征在于，

16.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：丸山照雄，冈田琢巳，滝本宽，山口敏喜，
申请(专利权)人：特许机器株式会社，
类型：发明
国别省市：