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本发明提供伺服型振动检测器以及伺服型振动检测器的评价方法。在现有伺服型加速度传感器的情况下，不得不在同时满足(1)共振峰值的降低、(2)响应性的提高、(3)传感器灵敏度提高的上述三个相反的课题的较窄的范围内构成传感器。因此，在性能提高上是有...
该专利属于特许机器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过特许机器株式会社授权不得商用。

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