碳化硅晶锭拆取装置制造方法及图纸

技术编号:42846837 阅读:24 留言:0更新日期:2024-09-27 17:16
本技术公开了一种碳化硅晶锭拆取装置,包括夹持组件、破碎刀和取锭刀,所述夹持组件用于夹持碳化硅晶锭;所述破碎刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于对碳化硅晶锭上的碳化硅多晶进行破碎;所述取锭刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于将碳化硅晶锭从坩埚盖上取下。其中,夹持组件的内侧壁上设有第一垫片。根据本技术的碳化硅晶锭拆取装置,能够满足在长晶结束后,将碳化硅晶锭从坩埚盖上取下的情况,实现取锭过程简洁化、易操作化,对人员的能力要求低,降低了人力和时间成本,减少了因人工操作不慎导致的晶锭破碎,提高了晶锭取出的成功率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及碳化硅晶体,尤其是涉及一种碳化硅晶锭拆取装置


技术介绍

1、在碳化硅晶体生长过程中,晶体与石墨坩埚盖接触的边缘容易形成多晶。然而,碳化硅多晶硬度大,故当将晶体从石墨坩埚盖上取下时,消耗的人力、时间成本较高。同时,碳化硅多晶脆性大,与碳化硅单晶连接处非常容易因操作不慎引起晶裂,对员工操作方面有很大的要求,成功率低。因此,急需一种能够降低人力、时间成本,提高取锭成功率的拆取晶锭装置。


技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术提出一种碳化硅晶锭拆取装置,能够将晶锭从坩埚盖上取下,降低人力和时间成本,减少因人工操作不慎导致的晶锭破碎,提高晶锭取出的成功率。

2、根据本技术实施例的碳化硅晶锭拆取装置,包括:

3、夹持组件,所述夹持组件用于夹持碳化硅晶锭;

4、破碎刀,所述破碎刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于对碳化硅晶锭上的碳化硅多晶进行破碎;

5、取锭刀,所述取锭刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于将碳化硅晶锭从坩本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,所述夹持组件包括两个结构相同的半圆环状卡箍,所述卡箍包括第一端和与所述第一端相对的第二端,两个所述卡箍共同限定出用于夹持碳化硅晶锭的容纳空间,每个所述卡箍的第一端与另一个所述卡箍的第二端连接形成有连接端。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,所述卡箍的第一端、第二端均设有安装孔,两个所述卡箍之间通过与安装孔相配合的第一螺栓组件连接。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,所述卡箍的第一端或第二端设有防...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,所述夹持组件包括两个结构相同的半圆环状卡箍,所述卡箍包括第一端和与所述第一端相对的第二端,两个所述卡箍共同限定出用于夹持碳化硅晶锭的容纳空间,每个所述卡箍的第一端与另一个所述卡箍的第二端连接形成有连接端。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,所述卡箍的第一端、第二端均设有安装孔,两个所述卡箍之间通过与安装孔相配合的第一螺栓组件连接。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,所述卡箍的第一端或第二端设有防滑橡胶把手。

5.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,所述卡箍的内侧壁上设有沿其周向布置安装槽,所述第一垫片安装在所述安装槽内,且可沿所述卡箍的轴向方向在所述安装槽内上下移动。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,所述夹持组件上设有沿所述夹持组件轴向方向布置的贯穿孔,所述破碎刀或所述取锭刀交替安装在所述贯穿孔内。

7.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡方宇
申请(专利权)人:江苏集芯先进材料有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1