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碳化硅晶锭拆取装置制造方法及图纸
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下载碳化硅晶锭拆取装置的技术资料
文档序号:42846837
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本技术公开了一种碳化硅晶锭拆取装置,包括夹持组件、破碎刀和取锭刀,所述夹持组件用于夹持碳化硅晶锭;所述破碎刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于对碳化硅晶锭上的碳化硅多晶进行破碎;所述取锭刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于将碳化硅晶锭从...
该专利属于江苏集芯先进材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏集芯先进材料有限公司授权不得商用。
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