【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超表面领域，尤其涉及一种二氧化钒集成超表面器件。
技术介绍
1、太赫兹波是指频率在0.1thz到10thz，波长在0.03mm到3mm范围，介于微波与红外间的电磁辐射，由于其独特优势，引起广泛关注，如太赫兹辐射在传感器、生物医学、雷达、安全检测和成像的发展中起着重要作用；为发展太赫兹应用，提出波导，开关，调制器，滤波器，偏振器和透镜，用于调制，控制和操纵太赫兹波。新的人工电磁材料，如光子晶体，超材料和等离子体也应用于太赫兹波段中。
2、超材料是人工设计的亚波长电磁结构，具有独特的物理特性，它们的电磁特性是由亚波长结构和功能材料一起决定的，因此，通过结构设计能产生理想的电磁响应和器件功能。最初对超材料的研究热点在于同时实现负的电导率和磁导率；对于超材料电磁响应的研究逐步发掘出了更多的电磁特性，包括幅度调节、相位、极化和阻抗等方面。而超表面作为超材料的一种二维衍生材料，电磁波的幅度、相位、偏振状态能够通过超表面结构进行灵活的控制，因此，它在各种类型的设备上具有更广泛的应用前景，例如光学成像、滤波器、谐振器等。然而，...
【技术保护点】
1.一种二氧化钒集成超表面器件，其特征在于，包括从上到下依次设置的二氧化钒四圆环层、第一介质层、铜条图案层、二氧化钒薄膜层、第二介质层、铜反射层；多个均匀排布的二氧化钒四圆环组合形成二氧化钒四圆环层，铜条图案层包括相互平行的铜条，铜条与水平面成45°角，二氧化钒薄膜层设置有条形金属贴片，条形金属贴片沿二氧化钒薄膜层的对角线分布，铜反射层的厚度大于入射波的趋肤深度。
2.根据权利要求1所述的一种二氧化钒集成超表面器件，其特征在于，超表面器件的横向周期和纵向周期均为20μm。
3.根据权利要求1所述的一种二氧化钒集成超表面器件，其特征在于，二氧化钒...
【技术特征摘要】
1.一种二氧化钒集成超表面器件，其特征在于，包括从上到下依次设置的二氧化钒四圆环层、第一介质层、铜条图案层、二氧化钒薄膜层、第二介质层、铜反射层；多个均匀排布的二氧化钒四圆环组合形成二氧化钒四圆环层，铜条图案层包括相互平行的铜条，铜条与水平面成45°角，二氧化钒薄膜层设置有条形金属贴片，条形金属贴片沿二氧化钒薄膜层的对角线分布，铜反射层的厚度大于入射波的趋肤深度。
2.根据权利要求1所述的一种二氧化钒集成超表面器件，其特征在于，超表面器件的横向周期和纵向周期均为20μm。
3.根据权利要求1所述的一种二氧化钒集成超表面器件，其特征在于，二氧化钒薄膜层的厚度为0.1um，条形金属贴片的长度为18um，宽度为2um。
4.根据权利要求1所述的一种二氧化钒集成超表面器件，其特征在于，铜反射层的厚度为0.2μm，用于阻止进入到结构的电磁波透射出去。
5.根据权利要求1所述的一种二氧化钒集成超表面器件...
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