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一种二氧化钒集成超表面器件制造技术
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下载一种二氧化钒集成超表面器件的技术资料
文档序号:42843464
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本发明涉及超表面领域,尤其涉及一种二氧化钒集成超表面器件,包括从上到下依次设置的二氧化钒四圆环层、第一介质层、铜条图案层、二氧化钒薄膜层、第二介质层、铜反射层;多个均匀排布的二氧化钒四圆环组合成二氧化钒四圆环层,铜条图案层包括相互平行的铜条...
该专利属于南昌大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌大学授权不得商用。
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