一种新型ALD镀膜防绕镀夹具制造技术

本技术属于半导体制造技术领域，具体是涉及一种新型ALD镀膜防绕镀夹具，包括有ALD镀膜机，ALD镀膜机内部安装有呈竖直方向排列若干个可推拉的横板，横板上设置有镀膜夹具，镀膜夹具包括有：固定座安装在横板上，用于固定夹具在横板上的位置；上盖通过螺栓固定安装在固定座的顶部，用于盛放晶圆片；固定座的顶部设置有凹槽，上盖的底部设置有开口，开口与凹槽相互配合形成真空仓；密封圈安装在固定座和上盖之间，用于将真空仓密封；真空接头安装在固定座的底部，用于将真空仓内的空气抽空。本技术可以避免单面绕镀问题，保证晶圆镀膜的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体制造，具体是涉及一种新型ald镀膜防绕镀夹具。

技术介绍

1、目前在半导体制程中，随着芯片制程精度不断提高，随着光伏产业的规模化和光伏技术的迅速发展，ald技术，即原子层沉积技术成为光伏产品降本增效的有效途径。ald镀膜凭借膜厚控制精确，披覆性好，异形结构填充完整及填缝能力强已逐渐称为主流镀膜设备，但是在部分工艺及光学产品中，往往只需要单面镀膜，碍于ald镀膜工艺特点，晶圆或产品在腔体内不能和夹具紧密贴合，会导致绕镀的问题产生，所谓绕镀是指处理晶圆(硅片)单一表面时另一表面的部分区域会被处理到，而这是需要避免的，影响后续制程或增加工序，ald镀膜目前在晶圆上基本都是双面镀膜，部分工艺需要单面镀膜，目前没有好的载具保证单面镀膜良品率以及绕镀问题，且单个载具只能用于晶圆的单面或双面镀膜作业中，载具通用性差，增加制造成本。

2、中国专利cn218465937u提出了一种ald镀膜载具，包括有：主体，所述主体上设有相互贯穿的置放槽和插槽，所述置放槽用于置放晶圆；防绕镀板，与所述主体可拆卸连接，当所述防绕镀板与所述主体分离时，所述晶圆可进本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种新型ALD镀膜防绕镀夹具，包括有ALD镀膜机(1)，ALD镀膜机(1)内部安装有呈竖直方向排列若干个可推拉的横板(2)，横板(2)上设置有镀膜夹具(3)，其特征在于，镀膜夹具(3)包括有：

2.根据权利要求1所述一种新型ALD镀膜防绕镀夹具，其特征在于，上盖(3b)还包括有设置在顶部的呈矩阵排列的晶圆槽(3b1)，晶圆槽(3b1)内安装有垫片(3b2)。

3.根据权利要求2所述一种新型ALD镀膜防绕镀夹具，其特征在于，横板(2)的两侧均设置有滑块(2a)，ALD镀膜机(1)内侧呈竖直方向设置有竖板(5)，竖板(5)上设置有滑轨(5a)，滑块(2a)与滑轨(...

【技术特征摘要】

1.一种新型ald镀膜防绕镀夹具，包括有ald镀膜机(1)，ald镀膜机(1)内部安装有呈竖直方向排列若干个可推拉的横板(2)，横板(2)上设置有镀膜夹具(3)，其特征在于，镀膜夹具(3)包括有：

2.根据权利要求1所述一种新型ald镀膜防绕镀夹具，其特征在于，上盖(3b)还包括有设置在顶部的呈矩阵排列的晶圆槽(3b1)，晶圆槽(3b1)内安装有垫片(3b2)。

3.根据权利要求2所述一种新型ald镀膜防绕镀夹具，其特征在于，横板(2)的两侧均设置有滑块(2a)，ald镀膜机(1)内侧呈竖直方向设置有竖板...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴兴旺，
申请(专利权)人：浙江优众新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：