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本技术属于半导体制造技术领域，具体是涉及一种新型ALD镀膜防绕镀夹具，包括有ALD镀膜机，ALD镀膜机内部安装有呈竖直方向排列若干个可推拉的横板，横板上设置有镀膜夹具，镀膜夹具包括有：固定座安装在横板上，用于固定夹具在横板上的位置；上盖通过...
该专利属于浙江优众新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江优众新材料科技有限公司授权不得商用。

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