【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种液晶显示器所使用的玻璃基板生产设备，尤其涉及对玻璃基板进行烘烤以进一步去除表面光阻有机溶剂的热风烘烤炉设备。
技术介绍
1、制造平板显示器必须在平板状玻璃基板表面形成高精度的微细图案，其工艺是在玻璃基板上涂布光阻剂后进行真空干燥和预烘烤，通过真空干燥和预烘烤在玻璃基板上形成均匀一致的光阻覆盖膜，将再经曝光显影后的玻璃基板送入烘烤温度达230℃—280℃的热风烘烤炉进行高温坚膜烘烤。由于曝光显影后，经过显影的光刻胶会吸收水分，从而出现软化、膨胀现象，使胶膜与玻片表面之间的粘附性下降，竖膜的目的是要使残留的光刻胶溶剂全部挥发，提高光刻胶与玻片表面的黏附性以及光刻胶的抗腐蚀能力，使光刻胶确实能够起到保护作用，为下一步的刻蚀做好准备。
2、坚膜烘烤的温度必须严格控制，坚膜烘烤温度低达不到烘烤效果，而温度过高会使光刻胶软化流动从而破坏图形，影响玻璃基板烘烤质量的关键因素是烘烤腔中温度场的稳定性和均匀一致性。现有的玻璃基板烘烤设备主要由烘烤炉体、玻璃卡架和加热鼓风设备组成，其烘烤炉腔是一可以容纳多层玻璃基板的极大腔室，...
【技术保护点】
1.具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统，包括烘烤炉体(1)，所述烘烤炉体(1)的烘烤腔(7)中设置有玻璃卡架(6)和滤清器(8)，其特征在于：所述滤清器(8)的加热侧设置有相互叠置的若干层级供热单元(25)，所述烘烤炉体(1)上至少连通有一炉腔热风排放管(4)，所述炉腔热风排放管(4)对应于玻璃卡架(6)的排放侧；所述烘烤炉体(1)上还连通有混流供风管(12)，该混流供风管(12)对应于各层级供热单元(25)的供风侧；热风排放管(4)经热风排放比例阀(5)分别通向烘烤腔排放总管(24)和热风回流管(14)，热风回流管(14)和新风输入管(15)经混流调配阀(13...
【技术特征摘要】
1.具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统，包括烘烤炉体(1)，所述烘烤炉体(1)的烘烤腔(7)中设置有玻璃卡架(6)和滤清器(8)，其特征在于：所述滤清器(8)的加热侧设置有相互叠置的若干层级供热单元(25)，所述烘烤炉体(1)上至少连通有一炉腔热风排放管(4)，所述炉腔热风排放管(4)对应于玻璃卡架(6)的排放侧；所述烘烤炉体(1)上还连通有混流供风管(12)，该混流供风管(12)对应于各层级供热单元(25)的供风侧；热风排放管(4)经热风排放比例阀(5)分别通向烘烤腔排放总管(24)和热风回流管(14)，热风回流管(14)和新风输入管(15)经混流调配阀(13)通向混流供风管(12)；每一层供热单元(25)对应一混流供风管(12)；
2.根据权利要求1所述的具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统，其特征在于：每一所述层级供热单元(25)对应于一热风回流管(14),每一所述热风回流管(14)一端连通有一对应的热风排放比例阀(5)，该热风回流管(14)的另一端连通有一对应的混流调配阀(13)。
3.根据权利要求1所述具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统，其特征在于：各所述热风排放比例阀(5)并联地通向烘烤腔排放总管(24)；各所述混流调配阀(13)通过对应的供风管(12)通向对应的层级供热单元(25)。
4.根据权利要求1、2或3所述具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统，其特征在于：所述调配阀芯(134)呈圆柱杯状结构，调配阀芯(134)的杯口朝向供风接口(136)，所述阀芯调配窗(135)沿调配阀芯(134)的圆柱壁面设置，该阀芯调配窗(135)与新风接口(132)、回流接口(133)位置相对应，该阀芯调配窗(135)的包角δ为160°—200°。
5.根据权利要求4所述具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统，其特征在于：所述新风接口(132)、回流接口(133)和供风接口(136)的中心线在空间上垂直交叉，该新风接口(132)、回流接口(133)和供风接口(136)的口端设置有对应的连接法兰；所述调配阀芯(134)的中心线与供风接口(136)的中心线处于同一直线上。
6.根据权利要求4所述具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统，其特征在于：所述新风接口(132)和回流接口(133)的口端截面积相等；所述新风接口(132)与新风输入管(15)相连通；所述回流接口(133)与热风回流管(14)相连通；所述供风接口(136)与供风管(12)相连通。
7.根据权利要求1、2或3所述具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统，其特征在于：所述回流窗(504)和排流窗(513)的窗口面积相等，比例阀板(502)的板...
【专利技术属性】
技术研发人员：万堃鋆，潘明华，
申请(专利权)人：江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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