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本发明的具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统,包括烘烤炉体,烘烤炉体的烘烤腔中设置有玻璃卡架和滤清器,所述滤清器的加热侧设置有相互叠置的若干层级供热单元,所述烘烤炉体上至少连通有一炉腔热风排放管,所述炉腔热风排放管对应于玻璃卡架的排放侧...该专利属于江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司授权不得商用。
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本发明的具有均匀高温热风场的基板烘烤oven系统,包括烘烤炉体,烘烤炉体的烘烤腔中设置有玻璃卡架和滤清器,所述滤清器的加热侧设置有相互叠置的若干层级供热单元,所述烘烤炉体上至少连通有一炉腔热风排放管,所述炉腔热风排放管对应于玻璃卡架的排放侧...