一种波导打火采集与微波重启控制系统和控制方法技术方案

本公开涉及一种波导打火采集与微波重启控制系统和控制方法，所述波导打火采集与微波重启控制系统包括：蓝紫光传感器，用于采集发生打火时产生的蓝紫光信号；光接收器，用于接收所述蓝紫光信号并转换为电压信号；比较器，用于接收所述电压信号并与预设的基准电压进行比较，根据比较结果输出对应的低电平或高电平；单片机，用于采集低电平或高电平并根据低电平或高电平控制关闭阳极电源的开机信号。本公开通过打火信号采集，判断波导打火的发生，并及时关闭微波发生器的阳极电源，关闭微波输出；同时，对微波发生器进行快速重启，迅速启动微波，实现整机设备不关机目的；可根据整机设备不同应用情况，可更改重启间隔时间，以及重启次数。

【技术实现步骤摘要】

本公开属于微波控制，尤其涉及一种波导打火采集与微波重启控制系统和控制方法。

技术介绍

1、微波发生器在等离子体应用中，大功率微波采用波导元件传输至等离子体腔体，整个传输链路及腔体受工艺、环境等各种因素影响，存在击穿打火的可能。在发生打火，微波传输短路，所有微波能量均向前传播，如在环行器后打火，反射能量将由环行器承受大部分，小部分反射至磁控管，如环行器或其之前发生打火，则能量全部反射至磁控管。环行器和磁控管均较难承受长时间的全部功率反射，特别是磁控管，短时间即可造成磁控管损坏。在等离子腔体无微波后，等离子体将消失，温度骤降，对腔体内的处理物质产生较大影响，甚至直接损坏，如mpcvd人工合成金刚石，在微波突然失去后，生长中的金刚石极易出现开裂情况，出现较大损失。

2、现有的发生器，大部分均无波导打火采集电路，在发生打火，由环行器或磁控管承受反射的微波，通过反射采集或磁控管因发射大而工作状态异常，关闭微波发生器。这种方式，反应速度慢，易对设备造成致命损害，同时无法对故障进行准确定位，无法排查故障。部分采用波导打火采集的微波发生器，采集到波导打火后，直本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种波导打火采集与微波重启控制系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种波导打火采集与微波重启控制系统，其特征在于，所述蓝紫光传感器通过光纤与所述光接收器相连接。

3.根据权利要求1所述的一种波导打火采集与微波重启控制系统，其特征在于，所述光接收器与所述比较器之间的连接电路包括第一电阻R1、第二电阻R2、电容C1和电位器RP1，所述第一电阻R1的一端与所述光接收器相连接，所述第一电阻R1的另一端与所述电容C1的一端、所述第二电阻R2的一端、所述比较器相连接；所述电容C1的另一端与所述光接收器、所述第二电阻R2的另一端连接并接地；所述电位器RP1的两...

【技术特征摘要】

1.一种波导打火采集与微波重启控制系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种波导打火采集与微波重启控制系统，其特征在于，所述蓝紫光传感器通过光纤与所述光接收器相连接。

3.根据权利要求1所述的一种波导打火采集与微波重启控制系统，其特征在于，所述光接收器与所述比较器之间的连接电路包括第一电阻r1、第二电阻r2、电容c1和电位器rp1，所述第一电阻r1的一端与所述光接收器相连接，所述第一电阻r1的另一端与所述电容c1的一端、所述第二电阻r2的一端、所述比较器相连接；所述电容c1的另一端与所述光接收器、所述第二电阻r2的另一端连接并接地；所述电位器rp1的两端分别接电压和接地，中间端与所述比较器相连接。

4.根据权利要求2所述的一种波导打火采集与微波重启控制系统，其特征在于，所述电位器rp1用于调节保护点。

【专利技术属性】
技术研发人员：印长豹，张辰，刘子欢，王帅帅，汤志诚，
申请(专利权)人：安徽明辨电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：