【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体器件，特别涉及一种基于litao3薄膜的热释电探头及其制备方法。
技术介绍
1、红外探测器是将红外辐射能转换成电能的一种元器件，在军事、环境污染和气候变化监控、气体探测以及安防等领域具有广泛应用。根据其工作原理，可将红外探测器分为红外热探测器和红外光子探测器两类。根据其工作温度，可分为非制冷型红外探测器和制冷型红外探测器。
2、热释电红外探测器是典型的非制冷型红外热探测器，具有光谱响应宽、价格低、体积小等优点，成为非制冷型红外探测器的主流发展方向。
3、钽酸锂（litao3）晶体具有介电损耗小，制备的红外探测器探测率高等优点，已作为非常优异的热释电材料被广泛用于制造热释电红外探测器。现有的热释电材料生长在sio2薄膜上，如图1所示，无法实现下电极的引出。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基于litao3薄膜的热释电探头及其制备方法，以解决
技术介绍
中的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种基于litao3薄膜...
【技术保护点】
1.一种基于LiTaO3薄膜的热释电探头，包括热释电层，其特征在于，
2.如权利要求1所述的基于LiTaO3薄膜的热释电探头，其特征在于，所述第一电极的第一面上铺有黑金，所述第一电极的第二面与所述热释电层的第一面接触。
3.如权利要求2所述的基于LiTaO3薄膜的热释电探头，其特征在于，所述热释电层位于底座上，所述底座和所述热释电层之间有氧化硅膜；
4.如权利要求3所述的基于LiTaO3薄膜的热释电探头，其特征在于，所述热释电层的第一面沉积有支撑膜，所述支撑膜覆盖于所述热释电探头的上表面并开有焊盘引线口，暴露出所述黑金。
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