加速度计的信号处理方法技术

本发明专利技术公开一种加速度计的信号处理方法，属于MEMS技术领域。先通过ADC检测加速度计中MEMS单元产生的电学变量，将电学变量转化到数字域；再将ADC检测到的变量信号进行相加或者相减，得到加速度计在相应方向的加速信号。本发明专利技术通过ADC将MEMS单元产生的电压变量转化到数字域，在数字域中进行相加或者相减提取得到x轴/y轴/z轴的信号，避免受到外部信号的干扰；并且能够测得加速度计在各方向上的信号。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及mems，特别涉及一种加速度计的信号处理方法。

技术介绍

1、mems（micro electro - mechanical system，微电子机械系统）加速度计是一种微小型惯性传感器，与传统的机械和光学传感器相比，mems加速度计具有成本低、体积小、功耗低的优点，可与集成电路集成，因此广泛应用于消费电子、工业制造、医疗电子、汽车电子、航空航天和军事等领域，具有巨大的发展潜力和商业价值。

2、mems加速度计的工作原理是惯性效应，当物体移动时，悬浮的微结构会受到惯性力的影响，加速度计信号的变化与线性加速度成正比。目前检测加速度计信号的方法是通过模拟的方式，将两路串联的信号做成差分形式，再用放大器进行放大。这种方法只能提取一个轴的信号，并且提取出的模拟域信号容易受到外部干扰。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种加速度计的信号处理方法，以解决
技术介绍
中的问题。

2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种加速度计的信号处理方法，包括如下步骤：

3、通本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加速度计的信号处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述加速度计由若干个MEMS单元构成，并且MEMS单元两两相对应构成MEMS单元组。

3.如权利要求2所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述加速度计由N个MEMS单元组依次排列，构成2×N的MEMS单元阵列结构，N为正整数；

4.如权利要求3所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述级联的方式为串联或者并联。

5.如权利要求2所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述加速度计由N个MEMS单元组构成正多边形结...

【技术特征摘要】

1.一种加速度计的信号处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述加速度计由若干个mems单元构成，并且mems单元两两相对应构成mems单元组。

3.如权利要求2所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述加速度计由n个mems单元组依次排列，构成2×n的mems单元阵列结构，n为正整数；

4.如权利要求3所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述级联的方式为串联或者并联。

5.如权利要求2所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述加速度计由n个mems单元组构成正多边形结构且关于所述正多边形结构呈中心对称，n为正整数；

6.如权利要求5所述的加速度计的信号处理方法，其特征在于，所述n个mems单...

【专利技术属性】
技术研发人员：向毅海，
申请(专利权)人：北京泽声科技有限公司，
类型：发明
国别省市：