一种窗口薄膜测试系统技术方案

本发明专利技术公开了一种窗口薄膜测试系统，系统包括:样品台设置于待测窗口薄膜远离透光窗口的一侧；样品台向待测窗口薄膜远离透光窗口的表面发射预设波段的光；气压调节监测装置用于调节待测窗口薄膜两侧的气压差；窗口薄膜成像装置用于通过透光窗口向待测窗口薄膜的待测区域发射预设波段的光，通过透光窗口获取待测窗口薄膜待测区域表面设置有液滴时的干涉条纹图像，并根据干涉条纹图像确定待测区域的形变量，本发明专利技术通过测量图像中干涉条纹的半径确定待测区域的形变量，后续采用窗口薄膜进行实验等工作时，可以直接根据需要的形变量确定待测窗口薄膜在工作状态下时的所需要的气压，提供工作效率，并且防止待测窗口薄膜在实际工作状态下发生破裂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄膜测试，尤其涉及一种窗口薄膜测试系统。

技术介绍

1、目前常见的窗口薄膜具有高强度、高硬度、高耐热性、高耐腐性和低热膨胀系数等特点，这种窗口薄膜是扫描透射软x射线显微成像技术(scanning transmission x-raymicroscopy，stxm)应用中十分理想的生物样品支持膜，利用同步辐射光源中的stxm技术可以对自然状态下的生物样品进行亚微米级的空间与化学分析。窗口薄膜还可作为真空窗口，隔开高真空的软x射线部分与大气压，用于生物活细胞研究，也可作为同步辐射光束线中的污染阻挡层。

2、然而，这种窗口薄膜的厚度很薄，有可能在高真空环境以及高压环境下发生破裂，为了验证窗口薄膜在高真空环境以及高压环境下能否正常工作，必须对窗口薄膜进行的耐压测试。

技术实现思路

1、本专利技术提供了一种窗口薄膜测试系统，通过测量图像中干涉条纹的半径确定待测区域的形变量，后续采用窗口薄膜进行实验等工作时，可以直接根据需要的形变量确定待测窗口薄膜在工作状态下时的所需要的气压，提供工作效率，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种窗口薄膜测试系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，

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7.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，

8.根据权利要求3所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于...

【技术特征摘要】

1.一种窗口薄膜测试系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的窗口薄膜测试系统，其特征在于，

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【专利技术属性】
技术研发人员：沈锐，许克标，贺羽，
申请(专利权)人：国仪量子技术合肥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：