下载一种窗口薄膜测试系统的技术资料

文档序号:42693228

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本发明公开了一种窗口薄膜测试系统,系统包括:样品台设置于待测窗口薄膜远离透光窗口的一侧;样品台向待测窗口薄膜远离透光窗口的表面发射预设波段的光;气压调节监测装置用于调节待测窗口薄膜两侧的气压差;窗口薄膜成像装置用于通过透光窗口向待测窗口薄膜...
该专利属于国仪量子技术(合肥)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国仪量子技术(合肥)股份有限公司授权不得商用。

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