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本发明公开一种基于LiTaO3薄膜的热释电探头及其制备方法，属于半导体器件领域。所述热释电探头包括热释电层，所述热释电层相对的两个面上分别形成有上电极和下电极，并且下电极穿过热释电层和一个上电极相连；其中热释电层为LiTaO3薄膜。该热释电...
该专利属于北京泽声科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京泽声科技有限公司授权不得商用。

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