气体传感器、气体检测装置及气体传感器的制备方法制造方法及图纸

本申请涉及一种气体传感器、气体检测装置及气体传感器的制备方法，包括：衬底、支撑层、图案化加热层、隔离层、功能层、凹槽以及多个条状通孔；其中，支撑层位于衬底的第一表面；图案化加热层位于支撑层的顶面，暴露出部分支撑层，用于加热气体传感器；隔离层至少覆盖图案化加热层；功能层位于隔离层的顶面；凹槽位于衬底的第二表面内，暴露出部分支撑层的底面；其中，第一表面与第二表面沿垂直于衬底的厚度方向相对设置；多个条状通孔沿垂直于衬底的第一表面的方向依次贯穿隔离层和支撑层，并与凹槽连通；其中，多个条状通孔的延伸方向朝向凹槽的中心线，或与朝向凹槽的中心线的方向垂直，从而缓解各个方向的应力，进一步缓解各膜层的形变。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及集成电路，特别是涉及一种气体传感器、气体检测装置及气体传感器的制备方法。

技术介绍

1、气体传感器通过物理或者化学等传感方式将气体的浓度、成分等信息转变成电信号，从而检测气体中的某一种或者某一类气体成分，可以用在智能家居、汽车电子、消费电子、可穿戴设备、医疗、工业、环境监测等多种行业。

2、在气体传感器的测量过程中，需要保持环境温度的稳定性，因此，大多数气体传感器内都包含加热设备，然而，在加热过程中，现有的气体传感器会出现由于温度过高导致气体传感器中的膜层发生形变的问题，造成膜层损坏的概率增大，降低气体传感器的使用寿命。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有技术中气体传感器的膜层容易形变，造成膜层损坏的概率增大的问题提供一种气体传感器、气体检测装置及气体传感器的制备方法。

2、为了实现上述目的，一方面，本申请提供了一种气体传感器，包括：

3、衬底；

4、支撑层，位于所述衬底的第一表面；

5、图案化加热层，位于所述支撑层的顶面，暴露出部分本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气体传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述条状通孔包括：弧形通孔、矩形通孔或多边形通孔中至少一个。

3.根据权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，各所述弧形通孔环绕所述图案化加热层间隔设置；其中，所述弧形通孔的两端与所述凹槽的中心线的连线的夹角的角度范围包括15度-45度。

4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述气体传感器还包括：

5.根据权利要求4所述的气体传感器，其特征在于，所述条状通孔与所述加热层引出端或所述功能层引出端之间的间隔距离包括5微米-50微米。

...

【技术特征摘要】

1.一种气体传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述条状通孔包括：弧形通孔、矩形通孔或多边形通孔中至少一个。

3.根据权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，各所述弧形通孔环绕所述图案化加热层间隔设置；其中，所述弧形通孔的两端与所述凹槽的中心线的连线的夹角的角度范围包括15度-45度。

4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述气体传感器还包括：

5.根据权利要求4所述的气体传感器，其特征在于，所述条状通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼英，杨力建，倪梁，卢惠棉，
申请(专利权)人：深圳市汇投智控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：