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本申请涉及一种气体传感器、气体检测装置及气体传感器的制备方法,包括:衬底、支撑层、图案化加热层、隔离层、功能层、凹槽以及多个条状通孔;其中,支撑层位于衬底的第一表面;图案化加热层位于支撑层的顶面,暴露出部分支撑层,用于加热气体传感器;隔离层...该专利属于深圳市汇投智控科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市汇投智控科技有限公司授权不得商用。
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