一种三维压差式MEMS矢量水听器及制备方法技术

本发明专利技术提供了一种三维压差式MEMS矢量水听器及制备方法，属于MEMS技术水声通信传感技术领域，包括陶瓷管壳，定义上端面、下端面以及外侧面均为第一安装面，定义棱边面为第二安装面；第一安装面上安装有ASIC芯片，ASIC芯片的外端面安装有MEMS水听器芯片；任一第二安装面上设有电源焊盘和接地焊盘，其余第二安装面上设有多个输出焊盘。本发明专利技术提供的一种三维压差式MEMS矢量水听器，在中高频段性能优于质点振速型矢量水听器，可以空间共点、时间同步测得声场中某场点声压和声压梯度信息，实现水下声源测向、定位等功能。相比于传统压电陶瓷水听器，更小的重量、更低的功耗，更高的可靠性，更快的响应速度，更高的分辨率和灵敏度，更大的动态范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于mems技术水声通信传感，更具体地说，是涉及一种三维压差式mems矢量水听器及制备方法。

技术介绍

1、我在生活中常用的信号载体——电磁波，在水中传播的衰减太快，而且频率越高，衰减越快，无法实现远距离传输。而声波在水中的衰减非常慢，有着优异的传播性能，低频声信号在水中的衰减系数约为10-4db/m到10-2db/m，这使得声波成为对海洋进行探测的最佳载体。

2、mems是在半导体制造技术的基础上发展而来的一种新兴微加工技术。通过微加工制成的微传感器或微执行器，器件尺寸通常在毫米级甚至是微米级，由于可以实现批量化生产从而降低了单个器件的生产成本。在过去的几十年间，mems技术得到了快速的发展，已经研发出种类齐全、数量众多的mems器件。这些器件还可以与专用集成电路(asic)集成在一起，展现出广阔的商业前景。将mems技术与水听器结合起来，可以实现水听器的微型化，同时采用mems技术加工水听器其一致性高，更加适应于实际应用需求。

3、随着科学技术的发展，海洋目标信号逐渐减弱，低频、远距离、多目标识别的实现需求越来越紧迫，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种三维压差式MEMS矢量水听器，其特征在于，包括陶瓷管壳，所述陶瓷管壳具备上端面、下端面以及周向围设于所述上端面和所述下端面之间的多个外侧面，相邻所述外侧面之间设置有棱边面，定义所述上端面、所述下端面以及所述外侧面均为第一安装面(1)，定义所述棱边面为第二安装面(2)；

2.如权利要求1所述的一种三维压差式MEMS矢量水听器，其特征在于，所述MEMS水听器芯片(4)的外侧面纵向设置有至少两个MEMS连接焊盘(5)，所述ASIC芯片(3)的外侧面设置有纵向排布的至少两个第一ASIC连接焊盘(6)和纵向排布的多个第二ASIC连接焊盘(7)，所述第一安装面(1)的外侧面纵向设...

【技术特征摘要】

1.一种三维压差式mems矢量水听器，其特征在于，包括陶瓷管壳，所述陶瓷管壳具备上端面、下端面以及周向围设于所述上端面和所述下端面之间的多个外侧面，相邻所述外侧面之间设置有棱边面，定义所述上端面、所述下端面以及所述外侧面均为第一安装面(1)，定义所述棱边面为第二安装面(2)；

2.如权利要求1所述的一种三维压差式mems矢量水听器，其特征在于，所述mems水听器芯片(4)的外侧面纵向设置有至少两个mems连接焊盘(5)，所述asic芯片(3)的外侧面设置有纵向排布的至少两个第一asic连接焊盘(6)和纵向排布的多个第二asic连接焊盘(7)，所述第一安装面(1)的外侧面纵向设置有多个管壳焊盘(8)；

3.如权利要求2所述的一种三维压差式mems矢量水听器，其特征在于，至少两个所述mems连接焊盘(5)设置于所述mems水听器芯片(4)的外侧面的一侧，至少两个所述第一asic连接焊盘(6)设置于所述asic芯片(3)的外侧面且靠近至少两个所述mems连接焊盘(5)一一对应排布，多个所述第二asic连接焊盘(7)位于至少两个所述第一asic连接焊盘(6)的外侧，所述asic芯片(3)覆盖于多个所述管壳焊盘(8)的外侧，且多个所述管壳焊盘(8)与多个所述第二asic连接焊盘(7)一一对应设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹志辉，钱丽勋，周彪，徐佳，马文涛，李海剑，焦帅，郭松林，王胜福，李丰，王乔楠，赵晨安，冯涛，张延青，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：