温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种三维压差式MEMS矢量水听器及制备方法，属于MEMS技术水声通信传感技术领域，包括陶瓷管壳，定义上端面、下端面以及外侧面均为第一安装面，定义棱边面为第二安装面；第一安装面上安装有ASIC芯片，ASIC芯片的外端面安装有MEM...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。