【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空系统检漏领域，具体涉及一种利用银纳米颗粒在臭氧氛围中的氧化特性对真空系统进行检漏的方法。
技术介绍
1、真空系统检漏是确保真空系统能够有效维持所需真空状态、避免漏气导致性能下降和安全风险的关键步骤，它具有提高设备安全性、延长设备使用寿命、节约能源和提高生产效率等多重优点。传统的真空系统检漏方法有气压检漏、氨敏纸检漏、高频火花检漏、放电管检漏和氦质谱检漏等多种方法，其中：气压检漏是利用检测对象两端气压差，通过声音观察法或者皂液气泡法来确定漏孔位置，此方法操作简单、成本低，但检漏灵敏度不高；氨敏纸检漏是将真空环境充入氨气，利用氨气与涂有溴酚蓝的外壁，再通过密封胶纸观察斑点的方法确定漏孔位置，氨气来源充足、成本低，但氨有毒且对铜、银等金属材料有腐蚀作用；高频火花检漏法是将高频火花沿玻璃真空系统表面有规则移动，观察火花亮点来确定可疑的漏孔位置，此方法只适用于用玻璃制造的真空系统的检漏；放电管检漏是利用真空系统中的残留空气与接入系统的放电管产生玫瑰红色辉放电，配合涂有汽油、丙酮的易挥发碳氢化合物，观察蓝色放电处来确定漏孔位置，此方法能检测出微小的泄漏点，操作简单，但存在安全风险，受环境限制；氦质谱检漏法则是利用氦气分子在真空中的扩散的特性，用喷枪在被检件外表面巡喷氦气，当喷到被检件外壳有漏孔处时，氦气通过漏孔进入被检件内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现检漏，此方法灵敏度极高，能够检测到非常微小的漏率，但氦气成本较高。因此，在选择合适的检漏方法时需要综合考虑真空系统要求和实际情况。
2、但真空系统形式各异，现有
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种用于真空系统检漏的方法，旨在利用银纳米颗粒在臭氧氛围中等离激元共振峰的衰减，实现真空检漏的目的。
2、为实现目的，本专利技术所采用的技术方案如下：
3、一种用于真空系统检漏的方法，其特点在于：利用银纳米颗粒在臭氧氛围中氧化会导致其等离激元共振峰衰减的特性，实现真空系统的检漏。具体方法为：在真空系统发生泄漏时，在真空腔室内放入银纳米颗粒，对真空腔室抽真空，然后用氧气对着疑似泄漏之处喷吹，并通过光源照射真空腔室；若有氧气进入真空腔室，基于真空腔室与外界的气压差异，氧气会在真空腔室内迅速扩散，并在光源照射下产生臭氧。臭氧具有强氧化性，银纳米颗粒在臭氧氛围中会快速氧化，导致其等离激元共振峰衰减，进而导致其吸收光谱发生明显变化，因此可通过银纳米颗粒吸收光谱的变化判断喷吹处是否发生泄漏。
4、进一步地，所述光源包含紫外光。
5、进一步地，使用光谱仪实时检测真空腔室中ag纳米颗粒的吸收光谱。
6、与现有技术相比，本专利技术的有益效果体现在：
7、本专利技术使用氧气作为检漏气体，其来源广泛、成本较低，且能直观反映出真空系统漏气的程度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：利用银纳米颗粒在臭氧氛围中氧化会导致其等离激元共振峰衰减的特性，实现真空系统的检漏。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：在真空系统发生泄漏时，在真空腔室内放入银纳米颗粒，对真空腔室抽真空，然后用氧气对着疑似泄漏之处喷吹，并通过光源照射真空腔室；若有氧气进入真空腔室，会在光源照射下产生臭氧，银纳米颗粒在臭氧氛围中会由于氧化导致其等离激元共振峰衰减，因此可通过银纳米颗粒吸收光谱的变化判断喷吹处是否发生泄漏。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：所述光源包含紫外光。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：利用银纳米颗粒在臭氧氛围中氧化会导致其等离激元共振峰衰减的特性，实现真空系统的检漏。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：在真空系统发生泄漏时，在真空腔室内放入银纳米颗粒，对真空腔室抽真空，然后用氧气对着疑似泄漏...
【专利技术属性】
技术研发人员：方应翠，王帅，刘鸿俊，汪杰，
申请(专利权)人：合肥工业大学智能制造技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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