【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空系统检漏领域，具体涉及一种利用银纳米颗粒在臭氧氛围中的氧化特性对真空系统进行检漏的方法。
技术介绍
1、真空系统检漏是确保真空系统能够有效维持所需真空状态、避免漏气导致性能下降和安全风险的关键步骤，它具有提高设备安全性、延长设备使用寿命、节约能源和提高生产效率等多重优点。传统的真空系统检漏方法有气压检漏、氨敏纸检漏、高频火花检漏、放电管检漏和氦质谱检漏等多种方法，其中：气压检漏是利用检测对象两端气压差，通过声音观察法或者皂液气泡法来确定漏孔位置，此方法操作简单、成本低，但检漏灵敏度不高；氨敏纸检漏是将真空环境充入氨气，利用氨气与涂有溴酚蓝的外壁，再通过密封胶纸观察斑点的方法确定漏孔位置，氨气来源充足、成本低，但氨有毒且对铜、银等金属材料有腐蚀作用；高频火花检漏法是将高频火花沿玻璃真空系统表面有规则移动，观察火花亮点来确定可疑的漏孔位置，此方法只适用于用玻璃制造的真空系统的检漏；放电管检漏是利用真空系统中的残留空气与接入系统的放电管产生玫瑰红色辉放电，配合涂有汽油、丙酮的易挥发碳氢化合物，观察蓝色放电处来确定漏孔位置，此...
【技术保护点】
1.一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：利用银纳米颗粒在臭氧氛围中氧化会导致其等离激元共振峰衰减的特性，实现真空系统的检漏。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：在真空系统发生泄漏时，在真空腔室内放入银纳米颗粒，对真空腔室抽真空，然后用氧气对着疑似泄漏之处喷吹，并通过光源照射真空腔室；若有氧气进入真空腔室，会在光源照射下产生臭氧，银纳米颗粒在臭氧氛围中会由于氧化导致其等离激元共振峰衰减，因此可通过银纳米颗粒吸收光谱的变化判断喷吹处是否发生泄漏。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：所述
【技术特征摘要】
1.一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：利用银纳米颗粒在臭氧氛围中氧化会导致其等离激元共振峰衰减的特性，实现真空系统的检漏。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：在真空系统发生泄漏时，在真空腔室内放入银纳米颗粒，对真空腔室抽真空，然后用氧气对着疑似泄漏...
【专利技术属性】
技术研发人员：方应翠，王帅，刘鸿俊，汪杰，
申请(专利权)人：合肥工业大学智能制造技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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