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本发明公开了一种用于真空系统检漏的方法，是利用银纳米颗粒在臭氧氛围中氧化会导致其等离激元共振峰衰减的特性，实现真空系统的检漏。本发明为真空系统检漏提供了一种全新的方法，并且能够直观地反映真空检漏结果。...
该专利属于合肥工业大学智能制造技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学智能制造技术研究院授权不得商用。

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