玻璃光罩保护盒制造技术

本技术公开了一种玻璃光罩保护盒，包括底壳、顶壳、多个第一定位件及多个第二定位件，底壳的第一表面设有第一安装部，顶壳的第二表面设有第二安装部，第一定位件包括第一连接部和第一抵接部，第一抵接部具有第一斜面及第一弧面，第一斜面相对第一表面倾斜设置，第一弧面朝向容腔的中心凸设，第二定位件包括第二连接部和第二抵接部，第二抵接部具有第二斜面及第二弧面，第二斜面相对第二表面倾斜设置，第二弧面朝向容腔的中心凸设。采用本技术的方案，第一定位件、第二定位件与玻璃光罩之间不易发生摩擦，且与玻璃光罩的接触面积较小，能够减少玻璃光罩在运输过程中发生损坏与污染的情况。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种玻璃光罩保护盒。

技术介绍

1、玻璃光罩又称铬板，由于玻璃光罩的表面存在大量复杂且细微的金属线路，这些线路非常容易受颗粒灰尘污染，导致表面线路图形不清晰，对于用户图形转印的产品品质影响极大。因此，相关技术中，通常使用玻璃光罩保护盒来容纳并保护玻璃光罩，以避免玻璃光罩被外界的颗粒灰尘污染。玻璃光罩保护盒通常包括底壳、顶壳及多个凸起，通过分别设置于底壳与顶壳的多个凸起，以夹持玻璃光罩在厚度方向上的两侧面，从而实现玻璃光罩在玻璃光罩保护盒中的定位。然而，由于玻璃光罩的两侧面均为工作面，即为金属线路所在的面，凸起与玻璃光罩在厚度方向上的两侧面的接触面较大，且在运输过程中凸起可能与玻璃光罩的两侧面发生摩擦，导致玻璃光罩的工作面损坏，或者，由于摩擦使得凸起产生颗粒物而导致玻璃光罩的工作面被污染，严重时可能导致玻璃光罩报废。

技术实现思路

1、本技术实施例公开了一种玻璃光罩保护盒，第一定位件、第二定位件与玻璃光罩之间不易发生摩擦，且与玻璃光罩的接触面积较小，能够减少玻璃光罩在运输过程中发生本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种玻璃光罩保护盒，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的保护盒，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的保护盒，其特征在于，所述第一抵接板与所述第二抵接板均为长条板，对应的所述第一定位件与所述第二定位件中，沿所述第一斜面的长度方向上延伸的直线与沿所述第二斜面的长度方向上延伸的直线在所述第一表面上的投影相互垂直。

4.根据权利要求3所述的保护盒，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的保护盒，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的保护盒，其特征在于，

7.根据权利要求1-6任一项所述的保护盒，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种玻璃光罩保护盒，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的保护盒，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的保护盒，其特征在于，所述第一抵接板与所述第二抵接板均为长条板，对应的所述第一定位件与所述第二定位件中，沿所述第一斜面的长度方向上延伸的直线与沿所述第二斜面的长度方向上延伸的直线在所述第一表面上的投影相互垂直。

4.根据权利要求3所述的保护盒，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的保护盒，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王明波，
申请(专利权)人：广州仕元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：