【技术实现步骤摘要】
本申请涉及排胶,尤其涉及一种压力调节装置和排胶炉。
技术介绍
1、排胶工艺常涉及腔室内压力的控制。排胶炉包括并排连接的工艺腔室和净化腔室。
2、现有的泄压装置都设置在工艺腔室上,压力从工艺腔室泄出去后再传递到净化腔室,导致净化腔室泄压需要的时间较长,泄压迟缓,可能会引起净化腔室爆裂等安全隐患。
技术实现思路
1、有鉴于此,本申请实施例提供了一种压力调节装置和排胶炉,以解决泄压装置设置在工艺腔室上,导致净化腔室泄压迟缓,可能会引起净化腔室爆裂等安全隐患的问题。
2、第一方面,本申请一实施例提供了一种压力调节装置,应用于排胶炉,排胶炉包括工艺腔室、净化腔室和抽气装置,工艺腔室内在排胶过程中产生污染气体,净化腔室被配置为接收污染气体并对污染气体进行净化,得到净化气体,抽气装置与净化腔室连通,并被配置为将净化气体排出;其中,压力调节装置包括:第一压力传感器,与净化腔室连接,被配置为检测净化腔室内的第一压力;中心控制器,与第一压力传感器通信连接,并接收第一压力;阀门组件,与中心控制器通信连接,被配置为使净化腔室与外界连通或隔离;其中,相应于第一压力小于第一预设压力,中心控制器控制阀门组件打开,以使净化腔室与外界连通。
3、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,抽气装置通过出气管路与净化腔室连通;其中,阀门组件设置于出气管路上,被配置为使出气管路与外界连通或隔离。
4、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,阀门组件包括:阀门,沿出气管路的
5、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,出气管路包括三通管路,三通管路的第一端与净化腔室连通,三通管路的第二端与抽气装置连通;其中,阀门组件设置于三通管路的第三端,以控制三通管路的第三端与外界的连通或隔离。
6、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,三通管路的第三端的开口朝向地面。
7、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,净化腔室通过进气管路与工艺腔室连通;压力调节装置还包括:第一管路;第一管路的一端与进气管路连通,第一管路的另一端与第一压力传感器连接。
8、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,压力调节装置还包括第二压力传感器,与工艺腔室连接,被配置为检测工艺腔室内的第二压力,并且第二压力传感器与中心控制器通信连接,以使中心控制器接收第二压力;其中,在中心控制器接收到的第二压力小于第二预设压力的情况下,中心控制器控制阀门组件打开,以使净化腔室与外界连通。
9、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,排胶炉还包括气柜;压力调节装置还包括:第二管路;第二管路的一端与工艺腔室连通,第二管路的另一端与第二压力传感器连接;其中,第二压力传感器设置于气柜内。
10、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,中心控制器还与抽气装置通信连接;在中心控制器接收到的第一压力小于第一预设压力的情况下,或者在中心控制器接收到的第二压力小于第二预设压力的情况下,中心控制器控制抽气装置降低抽气速度。
11、第二方面,本申请一实施例提供了一种排胶炉,包括:工艺腔室,在排胶过程中,工艺腔室内产生污染气体;净化腔室,与工艺腔室连通,污染气体由工艺腔室流向净化腔室,净化腔室被配置为对污染气体进行净化,得到净化气体;抽气装置,与净化腔室连通,并对净化腔室进行抽气,以将净化气体排出;第一方面任一项所述的压力调节装置,被配置为对净化腔室进行泄压。
12、本申请本实施例提供的压力调节装置,通过第一压力传感器检测净化腔室内的第一压力,中心控制器接收第一压力传感器检测到的第一压力,阀门组件控制净化腔室与外界连通或隔离,使得净化腔室可以直接泄压,缩短了净化腔室的泄压时间。当第一压力传感器检测到净化腔室内的第一压力小于第一预设压力时,中心控制器控制阀门组件打开,使净化腔室与外界连通,使得净化腔室得到及时泄压,避免了因泄压迟缓引起净化腔室爆裂等安全隐患的发生,提高了排胶炉的安全性,有利于安全生产。
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1.一种压力调节装置,其特征在于,应用于排胶炉,所述排胶炉包括工艺腔室、净化腔室和抽气装置,所述工艺腔室内在排胶过程中产生污染气体,所述净化腔室被配置为接收所述污染气体并对所述污染气体进行净化,得到净化气体,所述抽气装置与所述净化腔室连通,并被配置为将所述净化气体排出;
2.根据权利要求1所述的压力调节装置,其特征在于,所述抽气装置通过出气管路与所述净化腔室连通;
3.根据权利要求2所述的压力调节装置,其特征在于,所述阀门组件包括:
4.根据权利要求2所述的压力调节装置,其特征在于,所述出气管路包括三通管路,所述三通管路的第一端与所述净化腔室连通,所述三通管路的第二端与所述抽气装置连通;
5.根据权利要求4所述的压力调节装置,其特征在于,所述三通管路的第三端的开口朝向地面。
6.根据权利要求1所述的压力调节装置,其特征在于,所述净化腔室通过进气管路与所述工艺腔室连通;
7.根据权利要求1至6任一项所述的压力调节装置,其特征在于,还包括:
8.根据权利要求7所述的压力调节装置,其特征在于,所述排胶炉
9.根据权利要求7所述的压力调节装置,其特征在于,所述中心控制器还与所述抽气装置通信连接;
10.一种排胶炉,其特征在于,包括:
...【技术特征摘要】
1.一种压力调节装置,其特征在于,应用于排胶炉,所述排胶炉包括工艺腔室、净化腔室和抽气装置,所述工艺腔室内在排胶过程中产生污染气体,所述净化腔室被配置为接收所述污染气体并对所述污染气体进行净化,得到净化气体,所述抽气装置与所述净化腔室连通,并被配置为将所述净化气体排出;
2.根据权利要求1所述的压力调节装置,其特征在于,所述抽气装置通过出气管路与所述净化腔室连通;
3.根据权利要求2所述的压力调节装置,其特征在于,所述阀门组件包括:
4.根据权利要求2所述的压力调节装置,其特征在于,所述出气管路包括三通管路,所述三通管路的第一端与所述净化...
【专利技术属性】
技术研发人员:龙占勇,李东林,梁展程,张武,
申请(专利权)人:拉普拉斯广州半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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