【技术实现步骤摘要】
本技术涉及压力烧结炉，尤其涉及一种压力烧结炉的检测系统。
技术介绍
1、芯片压力烧结炉是通过加热加压的方式进行产品加工的设备，常见的芯片压力烧结炉其炉腔体不是完全封闭的结构，芯片烧结时温度比较高，芯片和基板在烧结时容易发生氧化，或掺杂其他杂质，影响芯片压力烧结封装质量。由此可见，实现芯片压力烧结炉更好的密封、减少对于芯片和基板的氧化对于提高产品质量具有非常重要的意义。现有技术中没有在真空环境中对压力烧结时的压接机构的压力异常检测、水流异常检测、真空值异常等检测，增加了故障排除时间，导致加工环境不可控，从而生产的产品质量不好。
技术实现思路
1、本技术提供一种压力烧结炉的检测系统，用以解决现有技术中故障排除时间长，加工环境不可控，从而生产的产品质量不好的问题。
2、一种压力烧结炉的检测系统，包括：
3、 显示屏，与计算机控制中心电连接，用于显示加热管电流状态、压接机构压力值、压接机构位移值和真空腔体的真空值 ；
4、至少一个加热管电流传感器，所述加热管电流传感器一一与加热管相对应地电连接，用于检测加热管的电流；
5、真空计，与真空腔体连接，用于检测真空腔体的真空值；
6、压接机构压力传感器，与压接机构连接，用于检测压接机构的压力值；
7、压接机构位移传感器，与压接机构连接，用于检测压接机构的位移值；
8、计算机控制中心，用于接收加热管电流传感器的数据信号并与电流阈值比较，如果小于电流阈值则报警；用于接
9、报警器，与计算机控制中心电连接，所述计算机控制中心控制报警器报警。
10、根据本技术的压力烧结炉的检测系统，还包括甲酸压力传感器和氮气压力传感器；所述甲酸压力传感器与甲酸桶连接，用于检测甲酸桶的压力；所述氮气压力传感器连接氮气罐，用于检测氮气罐的压力。
11、根据本技术的压力烧结炉的检测系统，所述计算机控制中心还用于接收甲酸压力传感器的数据信号并与甲酸桶压力阈值比较，如果小于甲酸桶压力阈值则报警；用于接收氮气压力传感器的数据信号并与氮气罐压力阈值比较，如果小于氮气罐压力阈值则报警。
12、根据本技术的压力烧结炉的检测系统，所述显示屏，还用于显示甲酸桶压力值和氮气压力值。
13、根据本技术的压力烧结炉的检测系统，还包括流量计，与压力烧结炉的冷却水管连接，用于检测冷却水的流量。
14、根据本技术的压力烧结炉的检测系统，所述计算机控制中心还用于接收流量计的数据信号并与水流阈值比较，如果小于水流阈值则报警。
15、根据本技术的压力烧结炉的检测系统，所述显示屏，还用于显示冷却水的流量值。
16、根据本技术的压力烧结炉的检测系统，还包括至少一个加热管功率传感器，所述加热管功率传感器一一与加热管相对应地电连接，用于检测加热管的功率。
17、根据本技术的压力烧结炉的检测系统，显示屏，还用于显示加热管电流值、加热管功率值。
18、本技术通过压接机构的压力异常检测、压接机构的位移异常检测、电流异常检测、水流异常检测、真空值异常等检测，压接机构的压力发生异常，则在显示屏显示压力值并显示红色。压接机构的位移发生异常，则在显示屏显示位移值并显示红色。对单个加热管的电流发生异常，则在显示屏显示红色，提醒更换该加热管。压力烧结炉的冷却板的冷水管和多个腔体外侧的冷水管的水流如果发生异常，则会提醒水流异常报警。减少了故障排除时间，加工环境可控，从而生产的产品质量好。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种压力烧结炉的检测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，所述计算机控制中心还用于接收甲酸压力传感器的数据信号并与甲酸桶压力阈值比较，如果小于甲酸桶压力阈值则报警；用于接收氮气压力传感器的数据信号并与氮气罐压力阈值比较，如果小于氮气罐压力阈值则报警。
4.根据权利要求2所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，所述显示屏，还用于显示甲酸桶压力值和氮气压力值。
5.根据权利要求1所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，所述计算机控制中心还用于接收流量计的数据信号并与水流阈值比较，如果小于水流阈值则报警。
7.根据权利要求6所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，所述显示屏，还用于显示冷却水的流量值。
8.根据权利要求1所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，还包括至少一个加热管功率传感器，所述加热管功率传感器一一与加热管相对应地电连接
9.根据权利要求8所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，显示屏，还用于显示加热管电流值、加热管功率值。
...【技术特征摘要】
1.一种压力烧结炉的检测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，所述计算机控制中心还用于接收甲酸压力传感器的数据信号并与甲酸桶压力阈值比较，如果小于甲酸桶压力阈值则报警；用于接收氮气压力传感器的数据信号并与氮气罐压力阈值比较，如果小于氮气罐压力阈值则报警。
4.根据权利要求2所述的压力烧结炉的检测系统，其特征在于，所述显示屏，还用于显示甲酸桶压力值和氮气压力值。
5.根据权利要求1所述的压力烧结炉的检测系统，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵永先，张延忠，周永军，赵登宇，文爱新，
申请(专利权)人：中科同帜半导体江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。