【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及碳化硅粉料合成设备，尤其涉及一种碳化硅粉料合成器。
技术介绍
1、碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表，具有宽带隙、高临界电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度和化学稳定性好等特点，因此其作为制备高频率、大功率、高温、高频耐腐蚀和抗辐照半导体器件广泛的应用于极端环境中，碳化硅单晶应用前景较好。专利号为：“cn117205838b”，专利名称为：“碳化硅粉料合成装置及碳化硅粉料”的一件专利技术专利，，碳化硅粉料合成装置包括支撑架、内坩埚和外坩埚，内坩埚设置于支撑架且能绕自身轴线转动，内坩埚的轴线沿水平方向延伸，内坩埚上开设有第一排杂孔，外坩埚设置于支撑架且罩住内坩埚，外坩埚与内坩埚相对固定且轴线重合，外坩埚上开设有第二排杂孔。通过设置可转动的内坩埚，可以为碳化硅粉料的合成提供温度梯度变化的热场，提高原料的利用率，降低碳化硅粉料合成的成本。
2、但是，上述碳化硅粉料合成装置在针对某些使用情况中仍存在一定的使用弊端：一方面，上述碳化硅粉料合成装置通过转动内坩埚使内部的碳粉和硅粉相互混合反应，但是生成后的碳化硅晶体很容易烧结粘附在内坩埚内侧面，影响碳化硅生产质量，后期清理时也不方便，而且转动设计的内坩埚也不方便排料。另一方面，上述碳化硅粉料合成装置仅依靠内坩埚的转动，很难使碳粉和硅粉充分混合，同样会影响碳化硅生产质量，而且上述碳化硅粉料合成装置中内坩埚始终转动，未反应的碳粉和硅粉掉落，影响排杂，浪费原材料。因此，亟需一种较为专业的碳化硅粉料合成装置以解决上述缺陷。
技术实现思路
1、本专利技术克服了现有技术的不足，提供一种碳化硅粉料合成器。
2、为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案为：一种碳化硅粉料合成器，包括：高温燃烧炉以及设置在所述高温燃烧炉上部的坩埚箱体，所述坩埚箱体内部设置混料机构和排杂机构，所述混料机构包括：同轴设置在坩埚箱体内的搅拌轴，所述搅拌轴轴线位置处设置滑槽，所述滑槽内滑动连接调节档杆，所述搅拌轴外周侧面阵列布设若干拨料组件，所述拨料组件包括：设置在搅拌轴外周侧面的装配管，所述装配管内周侧面固定连接装配杆，所述装配杆端部设置刮板，所述装配管滑动连接移动套筒一端，所述移动套筒另一端一体设置拨料板；所述排杂机构包括：阵列布设在所述坩埚箱体上部的若干排气孔，所述排气孔位置处设置单向排气阀。
3、本专利技术一个较佳实施例中，所述移动套筒内周侧面阵列布设若干滑块，所述装配杆端部外周侧面阵列布设若干螺旋导轨槽，每个所述滑动对应连接所述螺旋导轨槽。
4、本专利技术一个较佳实施例中，所述移动套筒通过钢丝绳连接调节档杆，所述调节档杆外周侧面设置配合槽，所述钢丝绳能够进入所述配合槽内。
5、本专利技术一个较佳实施例中，所述装配杆一端设置连接块，所述移动套筒一端外周侧面设置若干螺旋限位孔，所述螺旋限位孔与所述连接块滑动连接，且所述连接块贯穿所述螺旋限位孔固定连接所述装配管。
6、本专利技术一个较佳实施例中，所述单向排气阀包括：设置在所述排气孔位置处的密封壳吗，所述密封壳上贯穿设置换气孔，所述密封壳内设置活塞块，所述活塞块通过若干牵拉弹簧连接所述密封壳，且所述活塞块与所述换气孔相互配合。
7、本专利技术一个较佳实施例中，若干所述单向排气阀外部设置负压盒体，所述负压盒体通过输气管连接抽气机。
8、本专利技术一个较佳实施例中，所述调节档杆一端设置卡接槽，所述搅拌轴设置锁紧螺栓，所述锁紧螺栓与所述卡接槽相互配合。
9、本专利技术一个较佳实施例中，沿搅拌轴轴线方向，若干所述拨料组件交错设置在所述搅拌轴外周侧面。
10、本专利技术一个较佳实施例中，所述搅拌轴一端设置皮带轮，所述高温燃烧炉顶面设置驱动装置，所述驱动装置输出端通过传动带连接所述皮带轮。
11、本专利技术一个较佳实施例中，所述刮板整体设置为螺旋状，且所述刮板外侧面与所述坩埚箱体内侧面平齐。
12、本专利技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，本专利技术具备以下有益效果：
13、（1）本专利技术中驱动装置通过传动带带动搅拌轴正向转动，搅拌轴带动拨料组件在坩埚箱体内搅动，刮板不断刮持坩埚内壁，有效避免碳粉和硅粉在坩埚箱体内壁附着烧结，有效提高碳化硅的生成质量。另一方面，通过驱动装置带动搅拌轴反向旋转，能够使生成之后的碳化硅粉料快速推送至排料口，提高碳化硅生产加工的效率。
14、（2）本专利技术通过改变调节档杆相对转动轴在轴线方向上的相对位置，调节档杆通过钢丝绳牵拉移动套筒，由于滑块与螺旋导轨槽配合，移动套筒沿装配杆轴线方向移动时，移动套筒会相对装配杆转动一定角度，根据坩埚箱体内的碳粉和硅粉的添加量，调整拨料板的角度，进而灵活调整拨料板的翻料量，使碳粉盒硅粉充分混合，提高混料效率以及混料效果。
15、（3）本专利技术中杂质气体排出阶段，杂质气体将活塞块顶开，经过换气孔排至负压盒体内并进一步排出，相比于转动运动的坩埚，未反应的碳粉、硅粉以及生成的碳化硅不会出现掉落问题，节约大量的原材料，而且不会出现排出气体回流的现象，排杂效果更好。当需要进一步排出杂质气体时，利用抽气机抽吸负压盒体，使坩埚箱体内气体杂质从换气孔排出，进一步提高排杂效果。
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1.碳化硅粉料合成器，包括：高温燃烧炉（1）以及设置在所述高温燃烧炉（1）上部的坩埚箱体（2），所述坩埚箱体（2）内部设置混料机构和排杂机构，其特征在于，所述混料机构包括：同轴设置在坩埚箱体（2）内的搅拌轴（3），所述搅拌轴（3）轴线位置处设置滑槽，所述滑槽内滑动连接调节档杆（4），所述搅拌轴（3）外周侧面阵列布设若干拨料组件，所述拨料组件包括：设置在搅拌轴（3）外周侧面的装配管（5），所述装配管（5）内周侧面固定连接装配杆（6），所述装配杆（6）端部设置刮板（7），所述装配管（5）滑动连接移动套筒（18）一端，所述移动套筒（18）另一端一体设置拨料板（19）；所述排杂机构包括：阵列布设在所述坩埚箱体（2）上部的若干排气孔，所述排气孔位置处设置单向排气阀（8）。
2.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述移动套筒（18）内周侧面阵列布设若干滑块（12），所述装配杆（6）端部外周侧面阵列布设若干螺旋导轨槽（13），每个所述滑动对应连接所述螺旋导轨槽（13）。
3.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述移动套筒（18）通过钢丝绳
4.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述装配杆（6）一端设置连接块（16），所述移动套筒（18）一端外周侧面设置若干螺旋限位孔（17），所述螺旋限位孔（17）与所述连接块（16）滑动连接，且所述连接块（16）贯穿所述螺旋限位孔（17）固定连接所述装配管（5）。
5.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述单向排气阀（8）包括：设置在所述排气孔位置处的密封壳（801）吗，所述密封壳（801）上贯穿设置换气孔（803），所述密封壳（801）内设置活塞块（802），所述活塞块（802）通过若干牵拉弹簧（804）连接所述密封壳（801），且所述活塞块（802）与所述换气孔（803）相互配合。
6.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：若干所述单向排气阀（8）外部设置负压盒体（22），所述负压盒体（22）通过输气管连接抽气机。
7.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述调节档杆（4）一端设置卡接槽（21），所述搅拌轴（3）设置锁紧螺栓（20），所述锁紧螺栓（20）与所述卡接槽（21）相互配合。
8.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：沿搅拌轴（3）轴线方向，若干所述拨料组件交错设置在所述搅拌轴（3）外周侧面。
9.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述搅拌轴（3）一端设置皮带轮（11），所述高温燃烧炉（1）顶面设置驱动装置（9），所述驱动装置（9）输出端通过传动带（10）连接所述皮带轮（11）。
10.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述刮板（7）整体设置为螺旋状，且所述刮板（7）外侧面与所述坩埚箱体（2）内侧面平齐。
...【技术特征摘要】
1.碳化硅粉料合成器，包括：高温燃烧炉（1）以及设置在所述高温燃烧炉（1）上部的坩埚箱体（2），所述坩埚箱体（2）内部设置混料机构和排杂机构，其特征在于，所述混料机构包括：同轴设置在坩埚箱体（2）内的搅拌轴（3），所述搅拌轴（3）轴线位置处设置滑槽，所述滑槽内滑动连接调节档杆（4），所述搅拌轴（3）外周侧面阵列布设若干拨料组件，所述拨料组件包括：设置在搅拌轴（3）外周侧面的装配管（5），所述装配管（5）内周侧面固定连接装配杆（6），所述装配杆（6）端部设置刮板（7），所述装配管（5）滑动连接移动套筒（18）一端，所述移动套筒（18）另一端一体设置拨料板（19）；所述排杂机构包括：阵列布设在所述坩埚箱体（2）上部的若干排气孔，所述排气孔位置处设置单向排气阀（8）。
2.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述移动套筒（18）内周侧面阵列布设若干滑块（12），所述装配杆（6）端部外周侧面阵列布设若干螺旋导轨槽（13），每个所述滑动对应连接所述螺旋导轨槽（13）。
3.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述移动套筒（18）通过钢丝绳（14）连接调节档杆（4），所述调节档杆（4）外周侧面设置配合槽（15），所述钢丝绳（14）能够进入所述配合槽（15）内。
4.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成器，其特征在于：所述装配杆（6）一端设置连接块（16），所述移动套筒（18）一端外周侧面设置若干螺旋限位孔（17），所述螺旋限位孔（17）与所述连接块（...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄义，左雷杰，庞宇，梁赫，
申请(专利权)人：重庆鬃晶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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