下载碳化硅粉料合成器的技术资料

文档序号:42664195

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本发明公开了一种碳化硅粉料合成器,包括:设置在高温燃烧炉上部的坩埚箱体,坩埚箱体内部设置混料机构和排杂机构,混料机构包括:同轴设置在坩埚箱体内的搅拌轴,搅拌轴轴线位置处设置滑槽,滑槽内滑动连接调节档杆,搅拌轴外周侧面阵列布设若干拨料组件,拨...
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