【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于平面光波导光调制器及其制备，具体涉及一种基于mzi结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法。
技术介绍
1、随着人工智能、物联网等新一代信息技术的飞速发展，传统的通信网络已难以满足人们对信息传输和交换的需求，高速光通信网络的发展刻不容缓。电光调制器作为光通信系统和片上光互连芯片的核心器件，用于完成信息的加载和信号的调控；其原理是利用材料的电光效应，使材料的折射率发生相应的线性变化，从而调控介质中传输光波的强度、相位等信息。
2、现有的电光调制器常使用的材料主要有以下几种：铌酸锂(lithium niobate,ln)、硅(silicon,si)和iii-v族化合物及聚合物。铌酸锂具备良好的物理、化学稳定性和优异的电光效应，是制造电光调制器的常用材料。传统的铌酸锂电光调制器，其波导是通过钛扩散或质子交换工艺制作的，这种波导芯层和包层之间的折射率差很小，对光的束缚能力较差，导致器件封装后的总长度通常在5～10cm，十分不利于集成。而基于薄膜铌酸锂的电光调制器克服了传统电光调制器的缺点，其波导芯层和...
【技术保护点】
1.一种基于MZI结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器，其特征在于：从下至上由硅衬底(1)、在硅衬底(1)之上制备的二氧化硅氧化层(2)、在二氧化硅氧化层(2)之上制备的铌酸锂薄膜(3)、在铌酸锂薄膜(3)之上制备的电光聚合物加载条波导(4)组成，电光聚合物加载条波导(4)为MZI结构，从左到右沿光输入方向由输入直波导(8)、输入锥形波导(9)、结构相同的第一弯曲波导(10’)和第二弯曲波导(10)、结构相同且相互平行的第一调制臂直波导(11)和第二调制臂直波导(12)、结构相同的第三弯曲波导(15’)和第四弯曲波导(15)、输出锥形波导(16)、输出直波导...
【技术特征摘要】
1.一种基于mzi结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器，其特征在于：从下至上由硅衬底(1)、在硅衬底(1)之上制备的二氧化硅氧化层(2)、在二氧化硅氧化层(2)之上制备的铌酸锂薄膜(3)、在铌酸锂薄膜(3)之上制备的电光聚合物加载条波导(4)组成，电光聚合物加载条波导(4)为mzi结构，从左到右沿光输入方向由输入直波导(8)、输入锥形波导(9)、结构相同的第一弯曲波导(10’)和第二弯曲波导(10)、结构相同且相互平行的第一调制臂直波导(11)和第二调制臂直波导(12)、结构相同的第三弯曲波导(15’)和第四弯曲波导(15)、输出锥形波导(16)、输出直波导(17)组成；在第一调制臂直波导(11)和第二调制臂直波导(12)外侧的铌酸锂薄膜(3)之上分别对称制备有长条形结构的第一接地电极(13’)和第二接地电极(13)，在第一调制臂直波导(11)和第二调制臂直波导(12)内侧的铌酸锂薄膜(3)之上制备有矩形结构的信号电极(10)；第一弯曲波导(10’)和第三弯曲波导(15’)关于第一调制臂直波导(11)对称设置，第二弯曲波导(10)和第四弯曲波导(15)关于第二调制臂直波导(12)对称设置，第一接地电极(13’)和第二接地电极(13)关于信号电极(10)对称设置；输入直波导(8)、输入锥形波导(9)、第一弯曲波导(10’)和第二弯曲波导(10)构成3-db y分束器，第三弯曲波导(15’)和第四弯曲波导(15)、输出锥形波导(16)、输出直波导(17)构成3-db y合束器。
2.如权利要求1所述的一种基于mzi结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器，其特征在于：电光聚合物(25)的材料为掺有生色团分子的电光聚合物，其折射率低于铌酸锂的折射率；第一接地电极(13’)、第二接地电极(13)和信号电极(10)的材料为al或au。
3.如权利要求2所述的一种基于mzi结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器，其特征在于：电光聚合物(25)的材料为聚甲基丙烯酸甲酯、su-8 2002或su...
【专利技术属性】
技术研发人员：王希斌，付雨舒，李尚融，孙士杰，张大明，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：
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