下载一种基于MZI结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法的技术资料

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一种基于MZI结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法,属于平面光波导光调制器及其制备技术领域。从下至上由硅衬底、二氧化硅氧化层、铌酸锂薄膜、电光聚合物加载条波导组成。电光聚合物加载条波导为MZI结构,从左到右沿光输入方向...
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