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一种基于MZI结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法技术
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文档序号:42662129
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一种基于MZI结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法,属于平面光波导光调制器及其制备技术领域。从下至上由硅衬底、二氧化硅氧化层、铌酸锂薄膜、电光聚合物加载条波导组成。电光聚合物加载条波导为MZI结构,从左到右沿光输入方向...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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