一种驱导测一体化高精度微动装置制造方法及图纸

一种驱导测一体化高精度微动装置属于高精度机电技术领域；本发明专利技术装置包括导轨机构、驱动机构、导向机构和测量机构，直线导轨的一端加工有“H”型槽，驱动机构安装在“H”型槽内做直线运动，直线导轨的另一端是导向机构的运动基准。该装置采用菱形振子实现高精度驱动、采用气浮导轨实现高精度导向、采用光栅尺实现高精度位置反馈，集成了驱动、导向、测量功能共同实现高精度直线运动。与传统技术不同的是，该装置采用的驱动、导向、测量机构分属不同的模块，可独立拆卸和升级，同时结构紧凑、具有同一个安装基准。因此，本发明专利技术装置在原理上消除了阿贝误差，具有高运动精度和定位精度的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微动装置，特别涉及一种结构紧凑、精度高的驱导测一体化高精度微动装置。

技术介绍

1、高精度的微动装置通常需要稳定性好精度高的驱动电机、直线度高摩擦力小的导轨、以及定位准确分辨率高的光栅尺来分别实现驱动、导向、测量功能，其中测量机构是为了实现位置反馈，通过对电机的闭环控制来实现更高的定位精度。在现有技术中，气浮导轨具有较高的导向精度、超声电机具有较高的定位精度，因此在精密及超精密工程、航空航天医疗器械以及高端装备制造等领域有着重要应用。为此，众多学者对其进行了不辍研究，以期实现性能的优化与提高。

2、专利cn201710396474.6“超声电机驱动的二维直线运动平台及微动方法”中提出利用超声电机驱动二维平台，从而提高了运动精度，但该装置没有给出超声电机安装和使用方式(主要是预紧机构)。在本专利技术中详细描述了驱动模块的结构和工作方式，特别设计了相应的预紧装置，保证菱形振子与预紧簧片的稳定接触力，进而保证了驱动模块的稳定驱动力。

3、专利cn201810565306.x“微动装置及微动试验装置”中描述了以微动发生器和本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种驱导测一体化高精度微动装置，包括导轨机构(1)、驱动机构(2)、导向机构(3)和测量机构(4)，导轨机构(1)包括直线导轨(5)，其特征在于：所述直线导轨(5)的一端加工有“H”型槽(6)，驱动机构(2)在“H”型槽(6)的范围内直线运动，直线导轨(5)的另一端是导向机构(3)的运动基准，导向机构(3)沿着直线导轨(5)运动；直线导轨(5)的下方安装有光栅尺(7)，测量机构(4)沿着光栅尺(7)直线运动；

2.根据权利要求1所述的一种驱导测一体化高精度微动装置，其特征在于：驱动机构(2)、导向机构(3)和测量机构(4)的安装基准分别是导轨机构(1)的“H”型槽(6)、...

【技术特征摘要】

1.一种驱导测一体化高精度微动装置，包括导轨机构(1)、驱动机构(2)、导向机构(3)和测量机构(4)，导轨机构(1)包括直线导轨(5)，其特征在于：所述直线导轨(5)的一端加工有“h”型槽(6)，驱动机构(2)在“h”型槽(6)的范围内直线运动，直线导轨(5)的另一端是导向机构(3)的运动基准，导向机构(3)沿着直线导轨(5)运动；直线导轨(5)的下方安装有光栅尺(7)，测量机构(4)沿着光...

【专利技术属性】
技术研发人员：温众普，曲华杰，曹克，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：