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一种驱导测一体化高精度微动装置属于高精度机电技术领域；本发明装置包括导轨机构、驱动机构、导向机构和测量机构，直线导轨的一端加工有“H”型槽，驱动机构安装在“H”型槽内做直线运动，直线导轨的另一端是导向机构的运动基准。该装置采用菱形振子实现高...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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