【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，特别是涉及一种模块化连续式真空镀膜生产线设备。
技术介绍
1、真空镀膜主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，如真空电阻加热蒸发、电子枪加热蒸发、磁控溅射以及离子束溅射等。例如为了改变一些光学镜片的物理性质，通常会使用真空镀膜机对光学镜片进行镀膜操作。
2、现有的真空镀膜机在对光学镜片进行镀膜时，具体地，在真空环境内先将待镀膜的光学镜片上料到罩体上的安装孔内，然后使得罩体下方设置的蒸发器产生高温蒸汽，高温蒸汽离子在罩体的汇聚作用下逐渐附着在光学镜片的表面，在光学镜片的表面形成薄膜，如此完成对光学镜片表面的真空镀膜。但是现有的真空镀膜机在使用时，若罩体的侧面没有装满待镀膜的光学镜片，则会造成高温蒸汽外泄，影响罩体内的蒸汽温度均匀性，不利于在光学镜片的表面形成均匀的薄膜。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对目前的真空镀膜设备所存在的问题，提供一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，用以解决现有的蒸汽镀膜机的罩体在未装满待镀膜的光学镜片时，会...
【技术保护点】
1.一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，所述扇形板靠近阻尼杆的一侧开设有避让槽，避让槽的槽口尺寸与弧形套管的管厚相适配。
3.根据权利要求1所述的一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，所述弹性件为弹力臂。
4.根据权利要求1所述的一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，所述轴套的内周同轴设置有内环，内环的下端固定连接有内工件盘，内工件盘的下端面也开设有安装孔，内工件盘与扇形板的内侧面相抵接。
5.根据权利要求1所...
【技术特征摘要】
1.一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，所述扇形板靠近阻尼杆的一侧开设有避让槽，避让槽的槽口尺寸与弧形套管的管厚相适配。
3.根据权利要求1所述的一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，所述弹性件为弹力臂。
4.根据权利要求1所述的一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，所述轴套的内周同轴设置有内环，内环的下端固定连接有内工件盘，内工件盘的下端面也开设有安装孔，内工件盘与扇形板的内侧面相抵接。
5.根据权利要求1所述的一种模块化连续式真空镀膜生产线设备，其特征在于，内工件盘的下端面也开设有安装孔，内工件盘与扇形板的内侧面相抵接。
6.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：程明望，田伟，李超，程勇，张勇，
申请(专利权)人：辽宁纳太科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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