【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆制造，具体为一种晶圆片全自动蒸镀装置。
技术介绍
1、晶圆在加工过程中需要表面电镀处理，如镀金、镀碳等，传统做法是操作人员使用真空笔或机械臂将晶圆吸取到托盘上，然后操作人员再将托盘放置在锅鼎上，待锅鼎上放置一定数量的晶圆片后，然后将锅鼎移动至真空蒸镀机中，在晶圆片表面镀一层金属层，然后再将锅鼎上的晶圆片逐一取下，在放置到晶圆仓中，然后循环上述过程，对需要蒸镀的晶圆片逐一进行蒸镀。
2、在整过蒸镀过程中，操作人员反复拿取晶圆片，同时还需要移动锅鼎，导致晶圆片的蒸镀效率非常低，另外，操作人员在反复拿取晶圆片容易对其造成损伤，而且也增加了晶圆片的污损风险。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种晶圆片全自动蒸镀装置，通过机械臂和抓取装置的配合，实现晶圆片在蒸镀前后的自动抓取，大大提高晶圆片的蒸镀效率。
2、本专利技术是通过以下技术方案来实现：
3、一种晶圆片全自动蒸镀装置，包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动装置、压板架和托盘架；
4、所述托盘架包括基座以及设置在其上的第一升降装置和托盘固定装置，托盘固定装置位于第一升降装置的顶部，第一升降装置上设置托盘，用于将托盘移动至工作位，托盘固定装置用于对工作位的托盘固定；
5、所述压板架包括第二升降装置以及设置层叠设置在其上的压板，第二升降装置用于将最上层的压板移动至工作位；
6、所述托盘机械臂包括机械臂以及与其连接的托盘
7、所述吸取组件设置在固定架中采用负压吸取压板并放置在工作位的晶圆片上；
8、所述夹爪组件设置在固定架的底部，包括虹膜机构以及与其连接的夹爪，虹膜机构控制多个夹爪同步开合对托盘固定；
9、所述锁扣控制组件设置在固定架的周侧，采用旋转开合夹头对锅鼎的锁扣开合控制；
10、所述锅鼎移动装置包括固定轴、连杆结构和基板；
11、所述固定轴安装在基板的中心，多个连杆结构以固定轴为中心圆周设置，连杆结构的一端通过开合机构与固定轴连接，连杆结构的另一端设置有锁块，锅鼎设置在锁块的顶部，并且在连杆结构的作用下多个锁块对锅鼎环向锁紧。
12、优选的，所述托盘固定装置包括两个固定部，两个固定部对称设置在第一升降装置的两侧；
13、所述固定部包括偏心轮结构，偏心轮结构的输出端连接夹头，偏心轮结构能够使夹头向托盘方向移动。
14、优选的，所述吸取组件包括气缸、气杆固定板和气杆；
15、所述气缸设置在固定架中，气缸的活塞与气缸固定板连接，多个气杆圆周分布在气缸固定板的边缘，气杆的穿过气缸固定板并连接有气压膜片。
16、优选的，所述虹膜机构包括齿圈、线性滑槽和弧形槽；
17、所述齿圈设置在固定架的底板上，多个弧形槽圆周分布在齿圈上，多个弧形槽的旋向相同，弧形槽的一端靠近齿圈的中心，另一端延伸至齿圈的边缘部；
18、所述多个线性滑槽设置在固定架的底板上并呈放射状分布，线性滑槽与弧形槽部分区域连通，夹爪的顶部设置有导向部，夹爪的上部设置在线性滑槽中，导向部位于弧形槽中。
19、优选的，所述锁扣控制组件包括固定基座、升降模组、夹臂和复合气缸；
20、所述固定基座与固定架连接，复合气缸与升降模组连接，升降模组与固定基座连接，复合气缸的下端与两个夹臂连接，复合气缸用于控制两个夹臂对锁扣夹持并转动。
21、优选的，所述连杆结构包括铰接座、连杆、拐臂和滑动座；
22、所述铰接座固定在基板上并位于固定轴的外侧，拐臂的拐点与铰接座的上端转动连接，拐臂的上端卡合机构连接，拐臂的下端与连杆的一端铰接，连杆的另一端与滑动座连接，滑动座安装在基板上，锁块设置在滑动座的顶部。
23、优选的，所述卡合机构包括调节环和驱动装置；
24、所述调节环套装在固定轴的上端并与驱动装置连接，调节环上设置有环槽，拐臂上端的端部与环槽滑动连接，调节环上下移动能够使锁块沿固定轴的径向往复移动。
25、优选的，所述固定轴上还套设有支撑环套和轴套；
26、所述轴套空套在固定轴上并位于基板的底部，轴套的上端与基板固接，支撑环套套设在固定轴上，支撑环套的上端与轴套的下端连接，支撑环套的下端与电机的输出轴啮合。
27、优选的，所述锅鼎移动装置设置在工作台上，工作台的底部设置有移动装置，固定轴穿过工作台与移动装置连接。
28、优选的，所述移动装置包括推杆和滑动装置，滑动装置与工作台通过导轨连接，推杆与滑动装置连接，固定轴的下端与滑动装置连接。
29、与现有技术相比，本专利技术具有以下有益的技术效果：
30、本专利技术提供的一种晶圆片全自动蒸镀装置，包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动装置、压板架和托盘架；采用压板架和托盘架将托盘和压板移动至工作位置，然后通过机械臂将晶圆片自送放置在托盘上，托盘夹取装置采用气杆吸附压板并结合机械臂将压板放置在晶圆片上，托盘夹取装置利用虹膜机构带动夹爪对托盘固定，并将托盘移动至锅鼎上，最后利用复合气缸对锁扣进行开合，实现托盘的固定，该装置实现了托盘、压板和晶圆片的全自动转动，将其整体安装在锅鼎上，大大提高了晶圆片的蒸镀效率，降低了晶圆片的蒸镀成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动装置、压板架和托盘架；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述托盘固定装置包括两个固定部，两个固定部对称设置在第一升降装置的两侧；
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述吸取组件包括气缸、气杆固定板和气杆；
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述虹膜机构包括齿圈、线性滑槽和弧形槽；
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述锁扣控制组件包括固定基座、升降模组、夹臂和复合气缸；
6.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述连杆结构包括铰接座、连杆、拐臂和滑动座；
7.根据权利要求6所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述卡合机构包括调节环和驱动装置；
8.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述固定轴上还套设有支撑环套和轴套；
9.根据权利要求
10.根据权利要求9所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述移动装置包括推杆和滑动装置，滑动装置与工作台通过导轨连接，推杆与滑动装置连接，固定轴的下端与滑动装置连接。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动装置、压板架和托盘架；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述托盘固定装置包括两个固定部，两个固定部对称设置在第一升降装置的两侧；
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述吸取组件包括气缸、气杆固定板和气杆；
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述虹膜机构包括齿圈、线性滑槽和弧形槽；
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述锁扣控制组件包括固定基座、升降模组、夹臂和复合气缸；
6.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王荣辉，
申请(专利权)人：瀚积智能科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。