【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆制造，具体为一种晶圆片全自动蒸镀装置。
技术介绍
1、晶圆在加工过程中需要表面电镀处理，如镀金、镀碳等，传统做法是操作人员使用真空笔或机械臂将晶圆吸取到托盘上，然后操作人员再将托盘放置在锅鼎上，待锅鼎上放置一定数量的晶圆片后，然后将锅鼎移动至真空蒸镀机中，在晶圆片表面镀一层金属层，然后再将锅鼎上的晶圆片逐一取下，在放置到晶圆仓中，然后循环上述过程，对需要蒸镀的晶圆片逐一进行蒸镀。
2、在整过蒸镀过程中，操作人员反复拿取晶圆片，同时还需要移动锅鼎，导致晶圆片的蒸镀效率非常低，另外，操作人员在反复拿取晶圆片容易对其造成损伤，而且也增加了晶圆片的污损风险。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种晶圆片全自动蒸镀装置，通过机械臂和抓取装置的配合，实现晶圆片在蒸镀前后的自动抓取，大大提高晶圆片的蒸镀效率。
2、本专利技术是通过以下技术方案来实现：
3、一种晶圆片全自动蒸镀装置，包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动...
【技术保护点】
1.一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动装置、压板架和托盘架；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述托盘固定装置包括两个固定部，两个固定部对称设置在第一升降装置的两侧；
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述吸取组件包括气缸、气杆固定板和气杆；
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述虹膜机构包括齿圈、线性滑槽和弧形槽；
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述锁扣...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动装置、压板架和托盘架；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述托盘固定装置包括两个固定部，两个固定部对称设置在第一升降装置的两侧；
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述吸取组件包括气缸、气杆固定板和气杆；
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述虹膜机构包括齿圈、线性滑槽和弧形槽；
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片全自动蒸镀装置，其特征在于，所述锁扣控制组件包括固定基座、升降模组、夹臂和复合气缸；
6.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王荣辉，
申请(专利权)人：瀚积智能科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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