温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆片全自动蒸镀装置，属于晶圆片蒸镀技术领域，该蒸镀装置包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动装置、压板架和托盘架；采用压板架和托盘架将托盘和压板移动至工作位置，然后通过机械臂将晶圆片自送放置在托盘上，托盘夹取装置采...
该专利属于瀚积智能科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瀚积智能科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。