驱动装置、光刻装置、物品制造方法、处理器、计算机可读存储介质及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供驱动装置、光刻装置、物品制造方法、处理器、计算机可读存储介质及检测方法。驱动装置具备：直动轴承引导件；移动体，由所述直动轴承引导件引导；驱动部，驱动所述移动体；以及检测部，检测所述直动轴承引导件的磨损，所述驱动部包括与所述移动体一起移动的第一部件和对所述第一部件施加力的第二部件，所述检测部基于由所述第一部件和所述第二部件的间隙的变化引起的振动，检测所述直动轴承引导件的磨损。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及驱动装置、光刻装置、物品制造方法、处理器、计算机可读存储介质及检测方法。

技术介绍

1、作为检测直动轴承引导件的磨损的方法，有监视从直动轴承引导件产生的振动的强度变化的方法和监视从直动轴承引导件产生的振动的频率变化的方法。前者的方法记载在日本特开2010-196742号公报中，后者的方法记载在日本特开2009-020090号公报中。

2、在日本特开2010-196742号公报中记载的方法中，需要始终在相同的条件下驱动由磨损检测对象的直动轴承引导件引导的移动体。因此，日本特开2010-196742号公报中记载的方法是难以应用于驱动条件可能经常变化的直动轴承引导件的磨损检测方法。这是因为从直动轴承引导件产生的振动的振幅的峰值根据由直动轴承引导件的块体支承的移动体的驱动速度v而变化。例如，如果移动体(块体)高速移动，则峰值变大，如果低速移动，则峰值变小。因此，如果不使移动体始终在相同的条件下驱动，则无法进行准确的磨损检测。

3、在日本特开2009-020090号公报中记载的方法中，由于直动轴承引导件的块体内部的部件与滚动体的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种驱动装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，

6.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的驱动装置，其特征在于，

10.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于，</p>

11.根...

【技术特征摘要】

1.一种驱动装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，

6.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的驱动装置，其特征在于，

10.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于，

11.根据权利要求10...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木康人，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：