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本发明提供驱动装置、光刻装置、物品制造方法、处理器、计算机可读存储介质及检测方法。驱动装置具备：直动轴承引导件；移动体，由所述直动轴承引导件引导；驱动部，驱动所述移动体；以及检测部，检测所述直动轴承引导件的磨损，所述驱动部包括与所述移动体一...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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