【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频，尤其涉及一种射频电源设备以及具有所述射频电源设备的射频电源系统。
技术介绍
1、目前，随着射频电源的应用范围越来越广泛，射频电源开始为越来越多的核心工艺设备进行供电，这也对射频电源提出了更高的要求，即在一些应用场景下，需要射频电源输出一个或多个不同频率的射频信号至被供电设备，以满足被供电设备的要求。而现有的射频电源往往仅能够输出一个射频信号至被供电设备，因此，如何根据被供电的设备具体需要，使得射频电源向被供电的设备可选择地输出一个或多个不同频率的射频信号，成为了需要考虑的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种射频电源设备以及射频电源系统，可向负载输出一个或多个不同频率的射频信号。
2、第一方面，提供一种射频电源设备，所述射频电源设备包括n个射频源和n个串联谐振单元。所述n个射频源用于分别输出n个射频信号，且所述n个射频信号的频率互不相同；所述n个串联谐振单元分别位于所述n个射频源的输出路径中，每一串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过或不通过；其中，至少一个串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过，以使得对应的至少一个射频源输出的至少一个射频信号传输至负载，其中，n≥2。
3、在一种可能的实施方式中，每一射频源均包括输出端，用于输出对应的射频信号，每一串联谐振单元的一端与对应的射频源的输出端连接，每一串联谐振单元的另一端与所述负载连接；当某一串联谐振单元使得射频信号通过时，对应的射频源的输出端输出的射频信号通过所述串联
4、在一种可能的实施方式中，所述n个射频源中包括至少一个输出源，所述输出源为传输至所述负载的射频信号对应的射频源；所述射频电源设备还包括第一阻抗匹配单元，所述第一阻抗匹配单元的一端与所述n个串联谐振单元的另一端均连接，所述第一阻抗匹配单元的另一端与所述负载连接；其中，至少通过所述第一阻抗匹配单元对所述至少一个输出源与所述负载进行阻抗匹配。
5、在一种可能的实施方式中，所述第一阻抗匹配单元的电抗值以及每一串联谐振单元的电抗值均可调节，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈容性时，每一串联谐振单元的电抗属性均呈感性；或者，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈感性时，每一串联谐振单元的电抗属性均呈容性；其中，调节所述第一阻抗匹配单元的电抗值和/或所述n个串联谐振单元中一个或多个串联谐振单元的电抗值，以使得每一输出源与所述负载通过所述第一阻抗匹配单元以及与所述输出源对应的串联谐振单元在所述输出源输出的射频信号的频率下进行阻抗匹配。
6、在一种可能的实施方式中，所述射频电源设备还包括n个第二阻抗匹配单元，所述n个第二阻抗匹配单元与所述n个射频源以及所述n个串联谐振单元一一对应，每一第二阻抗匹配单元连接于对应的射频源的输出端以及对应的串联谐振单元的一端之间；其中，至少通过所述第一阻抗匹配单元以及所述n个第二阻抗匹配单元中与所述至少一个输出源对应的至少一个第二阻抗匹配单元对所述至少一个输出源与所述负载进行阻抗匹配。
7、在一种可能的实施方式中，每一串联谐振单元的电抗值均为零；所述第一阻抗匹配单元的电抗值以及每一第二阻抗匹配单元的电抗值均可调节，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈容性时，每一第二阻抗匹配单元的电抗属性均呈感性；或者，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈感性时，每一第二阻抗匹配单元的电抗属性均呈容性；其中，调节所述第一阻抗匹配单元的电抗值和/或所述n个第二阻抗匹配单元中一个或多个第二阻抗匹配单元的电抗值，以使得每一输出源与所述负载通过所述第一阻抗匹配单元以及与所述输出源对应的第二阻抗匹配单元在所述输出源输出的射频信号的频率下进行阻抗匹配。
8、在一种可能的实施方式中，每一串联谐振单元的谐振频率与对应的射频源的输出端输出的射频信号的频率均相同；或者，至少一个串联谐振单元的谐振频率与所述n个射频信号的频率均不相同，其他每一串联谐振单元的谐振频率与对应的射频源的输出端输出的射频信号的频率均相同。
9、在一种可能的实施方式中，每一串联谐振单元的谐振频率与对应的射频源的输出端输出的射频信号的频率相同，以对相应的射频信号保持低阻抗，使得相应的射频信号通过所述串联谐振单元，所述n个射频信号均通过对应的所述n个串联谐振单元传输至所述负载，且每一串联谐振单元对其他射频源的输出端输出的射频信号均保持高阻抗，以隔离其他射频源的输出端输出的任一射频信号传输至对应的射频源。
10、在一种可能的实施方式中，至少一个串联谐振单元中每一串联谐振单元的谐振频率与所述n个射频信号的频率均不相同，以对相应的射频信号保持高阻抗，使得相应的射频信号不通过所述串联谐振单元，所述n个射频信号中的部分射频信号被禁止通过对应的部分串联谐振单元传输至所述负载，其他每一串联谐振单元的谐振频率与对应的射频源的输出端输出的射频信号的频率相同，以对相应的射频信号保持低阻抗，使得相应的射频信号通过所述串联谐振单元，所述n个射频信号中的其他部分射频信号通过对应的其他部分串联谐振单元传输至所述负载，且每一串联谐振单元对其他射频源的输出端输出的射频信号均保持高阻抗，以隔离其他射频源的输出端输出的任一射频信号传输至对应的射频源。
11、在一种可能的实施方式中，所述射频电源设备还包括n个开关单元，所述n个开关单元与所述n个射频源以及所述n个串联谐振单元一一对应，每一开关单元连接于对应的射频源的输出端与对应的串联谐振单元的一端之间；其中，所述n个开关单元用于导通或者断开对应的射频源的输出端与对应的串联谐振单元的一端之间的连接路径。
12、在一种可能的实施方式中，所述射频电源设备还包括m个阻抗补偿单元，所述m个阻抗补偿单元与至少部分射频源以及至少部分串联谐振单元一一对应，每一阻抗补偿单元连接于对应的射频源的输出端与对应的串联谐振单元的一端之间；其中，所述m个阻抗补偿单元用于对所述至少部分串联谐振单元的电抗值进行补偿，以降低所述至少部分串联谐振单元的电抗值的绝对值，其中，1≤m≤n。
13、第二方面，还提供一种射频电源系统，所述射频电源系统包括射频电源设备。所述射频电源设备包括n个射频源和n个串联谐振单元。所述n个射频源用于分别输出n个射频信号，且所述n个射频信号的频率互不相同；所述n个串联谐振单元分别位于所述n个射频源的输出路径中，每一串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过或不通过；其中，至少一个串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过，以使得对应的至少一个射频源输出的至少一个射频信号传输至负载，其中，n≥2。
14、本申请的射频电源设备以及射频电源系统，在n个射频源分别输出n个射频信号，且n个射频信号的频率互不相同的情况下，通过设置n个串联谐振单元分别位于n个射频源的输出路径中，以使得每一串联谐振单元对应的射频源输出的射频信号通过或不通过，并通本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种射频电源设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的射频电源设备，其特征在于，每一射频源均包括输出端，用于输出对应的射频信号，每一串联谐振单元的一端与对应的射频源的输出端连接，每一串联谐振单元的另一端与所述负载连接；当某一串联谐振单元使得射频信号通过时，对应的射频源的输出端输出的射频信号通过所述串联谐振单元传输至所述负载；当某一串联谐振单元使得射频信号不通过时，对应的射频源的输出端输出的射频信号被禁止传输至所述负载。
3.根据权利要求2所述的射频电源设备，其特征在于，所述N个射频源中包括至少一个输出源，所述输出源为传输至所述负载的射频信号对应的射频源；所述射频电源设备还包括第一阻抗匹配单元，所述第一阻抗匹配单元的一端与所述N个串联谐振单元的另一端均连接，所述第一阻抗匹配单元的另一端与所述负载连接；其中，至少通过所述第一阻抗匹配单元对所述至少一个输出源与所述负载进行阻抗匹配。
4.根据权利要求3所述的射频电源设备，其特征在于，所述第一阻抗匹配单元的电抗值以及每一串联谐振单元的电抗值均可调节，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈容性时，
5.根据权利要求3所述的射频电源设备，其特征在于，所述射频电源设备还包括N个第二阻抗匹配单元，所述N个第二阻抗匹配单元与所述N个射频源以及所述N个串联谐振单元一一对应，每一第二阻抗匹配单元连接于对应的射频源的输出端以及对应的串联谐振单元的一端之间；其中，至少通过所述第一阻抗匹配单元以及所述N个第二阻抗匹配单元中与所述至少一个输出源对应的至少一个第二阻抗匹配单元对所述至少一个输出源与所述负载进行阻抗匹配。
6.根据权利要求5所述的射频电源设备，其特征在于，每一串联谐振单元的电抗值均为零；所述第一阻抗匹配单元的电抗值以及每一第二阻抗匹配单元的电抗值均可调节，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈容性时，每一第二阻抗匹配单元的电抗属性均呈感性；或者，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈感性时，每一第二阻抗匹配单元的电抗属性均呈容性；其中，调节所述第一阻抗匹配单元的电抗值和/或所述N个第二阻抗匹配单元中一个或多个第二阻抗匹配单元的电抗值，以使得每一输出源与所述负载通过所述第一阻抗匹配单元以及与所述输出源对应的第二阻抗匹配单元在所述输出源输出的射频信号的频率下进行阻抗匹配。
7.根据权利要求2所述的射频电源设备，其特征在于，每一串联谐振单元的谐振频率与对应的射频源的输出端输出的射频信号的频率均相同；或者，至少一个串联谐振单元的谐振频率与所述N个射频信号的频率均不相同，其他每一串联谐振单元的谐振频率与对应的射频源的输出端输出的射频信号的频率均相同。
8.根据权利要求7所述的射频电源设备，其特征在于，每一串联谐振单元的谐振频率与对应的射频源的输出端输出的射频信号的频率相同，以对相应的射频信号保持低阻抗，使得相应的射频信号通过所述串联谐振单元，所述N个射频信号均通过对应的所述N个串联谐振单元传输至所述负载，且每一串联谐振单元对其他射频源的输出端输出的射频信号均保持高阻抗，以隔离其他射频源的输出端输出的任一射频信号传输至对应的射频源。
9.根据权利要求7所述的射频电源设备，其特征在于，至少一个串联谐振单元中每一串联谐振单元的谐振频率与所述N个射频信号的频率均不相同，以对相应的射频信号保持高阻抗，使得相应的射频信号不通过所述串联谐振单元，所述N个射频信号中的部分射频信号被禁止通过对应的部分串联谐振单元传输至所述负载，其他每一串联谐振单元的谐振频率与对应的射频源的输出端输出的射频信号的频率相同，以对相应的射频信号保持低阻抗，使得相应的射频信号通过所述串联谐振单元，所述N个射频信号中的其他部分射频信号通过对应的其他部分串联谐振单元传输至所述负载，且每一串联谐振单元对其他射频源的输出端输出的射频信号均保持高阻抗，以隔离其他射频源的输出端输出的任一射频信号传输至对应的射频源。
10.根据权利要求2所述的射频电源设备，其特征在于，所述射频电源设备还包括N个开关单元，所述N个开关单元与所述N个射频源以及所述N个串联谐振单元一一对应，每一开关单元连接于对应的射频源的输出端与对应的串联谐振单元的一端之间；其中，所述N个开关单元用于导通或者断开对应的射频源的输出端与对应的串...
【技术特征摘要】
1.一种射频电源设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的射频电源设备，其特征在于，每一射频源均包括输出端，用于输出对应的射频信号，每一串联谐振单元的一端与对应的射频源的输出端连接，每一串联谐振单元的另一端与所述负载连接；当某一串联谐振单元使得射频信号通过时，对应的射频源的输出端输出的射频信号通过所述串联谐振单元传输至所述负载；当某一串联谐振单元使得射频信号不通过时，对应的射频源的输出端输出的射频信号被禁止传输至所述负载。
3.根据权利要求2所述的射频电源设备，其特征在于，所述n个射频源中包括至少一个输出源，所述输出源为传输至所述负载的射频信号对应的射频源；所述射频电源设备还包括第一阻抗匹配单元，所述第一阻抗匹配单元的一端与所述n个串联谐振单元的另一端均连接，所述第一阻抗匹配单元的另一端与所述负载连接；其中，至少通过所述第一阻抗匹配单元对所述至少一个输出源与所述负载进行阻抗匹配。
4.根据权利要求3所述的射频电源设备，其特征在于，所述第一阻抗匹配单元的电抗值以及每一串联谐振单元的电抗值均可调节，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈容性时，每一串联谐振单元的电抗属性均呈感性；或者，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈感性时，每一串联谐振单元的电抗属性均呈容性；其中，调节所述第一阻抗匹配单元的电抗值和/或所述n个串联谐振单元中一个或多个串联谐振单元的电抗值，以使得每一输出源与所述负载通过所述第一阻抗匹配单元以及与所述输出源对应的串联谐振单元在所述输出源输出的射频信号的频率下进行阻抗匹配。
5.根据权利要求3所述的射频电源设备，其特征在于，所述射频电源设备还包括n个第二阻抗匹配单元，所述n个第二阻抗匹配单元与所述n个射频源以及所述n个串联谐振单元一一对应，每一第二阻抗匹配单元连接于对应的射频源的输出端以及对应的串联谐振单元的一端之间；其中，至少通过所述第一阻抗匹配单元以及所述n个第二阻抗匹配单元中与所述至少一个输出源对应的至少一个第二阻抗匹配单元对所述至少一个输出源与所述负载进行阻抗匹配。
6.根据权利要求5所述的射频电源设备，其特征在于，每一串联谐振单元的电抗值均为零；所述第一阻抗匹配单元的电抗值以及每一第二阻抗匹配单元的电抗值均可调节，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈容性时，每一第二阻抗匹配单元的电抗属性均呈感性；或者，当所述第一阻抗匹配单元的电抗属性呈感性时，每一第二阻抗匹配单元的电抗属性均呈容性；其中，调节所述第一阻抗匹配单元的电抗值和/或所述n个第二阻抗匹配单元中一个或多个第二阻抗匹配单元的电抗值，以使得每一输出源与所述负载通过所述第一阻抗匹配单元以...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树晓，林炯康，陈亚梯，
申请(专利权)人：深圳市瀚强科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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