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本申请提供一种射频电源设备以及射频电源系统，涉及射频技术领域，射频电源设备包括N个射频源和N个串联谐振单元；N个射频源用于分别输出N个射频信号，且N个射频信号的频率互不相同；N个串联谐振单元分别位于N个射频源的输出路径中，每一串联谐振单元用...
该专利属于深圳市瀚强科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市瀚强科技股份有限公司授权不得商用。

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