【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空腔体的，尤其涉及一种真空腔体的开合结构。
技术介绍
1、现有的加工过程中一些步骤都需要经过真空处理，例如蒸镀工艺。而真空处理一般采用真空腔体进行抽真空，以进行加工。
2、在真空腔体中，真空腔体包括腔体和腔盖，腔体与腔盖之间采用合页进行铰接，底面设置液压推杆，在开启的过程中，用手推动腔盖，液压推杆弹出，以支撑腔盖打开，最后取出腔体内的物料即可。
3、采用手推动的方式，在长时间开盖次数较频繁的状态下，操作员容易产生疲惫感，一旦产生疲惫感，则在操作过程中容易出错。而腔盖的重量往往非常重，一旦操作过程中出错，极易对操作员的健康产生威胁，例如：压伤手部等。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种真空腔体的开合结构，以解决上述采用手推动的方式，在长时间开盖次数较频繁的状态下，操作员容易产生疲惫感的问题。
2、根据本技术的一方面，提供一种真空腔体的开合结构，所述真空腔体的开合结构包括：
3、底板，设于腔体主体上；
4、合页组件...
【技术保护点】
1.一种真空腔体的开合结构，其特征在于，所述真空腔体的开合结构包括：
2.根据权利要求1所述的真空腔体的开合结构，其特征在于，所述气动伸缩组件包括：
3.根据权利要求2所述的真空腔体的开合结构，其特征在于，所述合页组件包括：
4.根据权利要求3所述的真空腔体的开合结构，其特征在于，所述第一固定件上开设有活动槽，所述第一转动件设有第一转动轴，所述第一转动轴位于所述活动槽内；
5.根据权利要求3所述的真空腔体的开合结构，其特征在于，所述第一转动件远离所述第一固定件的一端设有第二转动轴；
6.根据权利要求1所述的真...
【技术特征摘要】
1.一种真空腔体的开合结构，其特征在于，所述真空腔体的开合结构包括：
2.根据权利要求1所述的真空腔体的开合结构，其特征在于，所述气动伸缩组件包括：
3.根据权利要求2所述的真空腔体的开合结构，其特征在于，所述合页组件包括：
4.根据权利要求3所述的真空腔体的开合结构，其特征在于，所述第一固定件上开设有活动槽，所述第一转动件设有第一转动轴，所述第一转动轴位于所述活动槽内；
5.根据权利要求3所述的真空腔体的开合结构，其特征在于，所述第一转动件远离所述第一固定件的一端设有第二转动轴；
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：李志强，
申请(专利权)人：易科微电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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