【技术实现步骤摘要】
本技术涉及旋转靶材，更具体地，涉及一种等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置和端头保护结构。
技术介绍
1、在旋转靶材的生产工序制造过程中，靶材基管(也称:背管)在靶材各加工方式需要经过多个工序和设备，背管在每个工序设备部都需要进行多次的拆装，在操作过程中很容易造成背管端头内外光洁面划伤或端头o-r ing槽磕碰，特别是在有介质作用的工序中，如：背管喷砂和打底工序:背管需要经过钢丸和打底丝高温高压的冲击，背管端头部分的保护更尤为重要。若背管端头在制造工序程中出现破坏则不能正常使用，则整根靶材需要进行返工甚至报废，耗时耗力影响产线工序效率，浪费成本等。
2、因此如何提供一种能够保护靶材背管在整个制造工序过程中不被磕碰和损坏的装置尤为重要。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种能够保护靶材背管在整个制造工序过程中不被磕碰和损坏的装置和端头保护结构。
2、本技术提供了一种等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，包括：
3、装置本体，其包括沿端头保护装置的径向依...
【技术保护点】
1.一种等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
4.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
5.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
6.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
7.根据权利要求6所...
【技术特征摘要】
1.一种等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
4.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
5.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置，其特征在于：
6.根据权利要求1至3中任一项所述的等离子喷涂旋转靶材基管的...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄勇彪，黄甘廷，陆礼真，
申请(专利权)人：江苏众诚达应用材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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