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本技术公开了一种等离子喷涂旋转靶材基管的端头保护装置和端头保护结构，其中端头保护装置包括：装置本体，其包括沿端头保护装置的径向依次间隔设置的环形内壁和环形外壁；位于端头保护装置轴向一侧且连接于环形内壁和环形外壁之间的环形底板；依次连接的环形...
该专利属于江苏众诚达应用材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏众诚达应用材料有限公司授权不得商用。

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