【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学检测装置，特别是涉及一种三维形貌检测装置。
技术介绍
精密的形貌检测是现代科技中非常重要的一环，当许多元组件渐渐微小化，就更 需要精确可靠的检测技术来验证其微结构尺寸或形貌的精度，以控制品质及制造工艺。其 中利用光学非接触检测方式的测量技术，可以非破坏方式取得待测物表面精确的形貌数 据，已广泛应用于各种产业中。 参照图1，当待测物12形貌表面斜率较大时，因光学显微镜11常使用的物镜倍率 为20倍以下，此区间的数值孔径过小，会造成待测物12表面反射光13无法进入光学显微 镜ll，而无法取得待测物表面形貌数据。因此，往往只能采用数值内插法，补足所缺的形貌 数据，但无法量得实际形貌尺寸及其粗糙度数据。 中国台湾专利TW1229186利用双视角的线性扫描装置搭配一斜向光源，可用以检 测缺陷的大致形状及尺寸，主要优点为可较快速检测大面积的缺陷，并判断缺陷为凸起或 凹陷。但是无法精确量取微结构三维形貌尺寸，也没有解决待测物形貌表面斜率较大时，表 面信号无法被撷取到的问题。 美国专利6， 449， 048利用将干涉仪倾斜一角度，与待测物横移方向不成垂直，...
【技术保护点】
一种三维形貌检测装置，其特征在于，包含：至少二光学检测装置；一倾斜角度调整机构，将该至少二光学检测装置架设其上，以调整该至少二光学检测装置的倾斜角度；其中当该至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。
【技术特征摘要】
一种三维形貌检测装置，其特征在于，包含至少二光学检测装置；一倾斜角度调整机构，将该至少二光学检测装置架设其上，以调整该至少二光学检测装置的倾斜角度；其中当该至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。2. 根据权利要求1所述的三维形貌检测装置，其特征在于该倾斜角度调整机构为圆 弧轨道。3. 根据权利要求2所述的三维形貌检测装置，其特征在于该至少二光学检测装置设 有枢纽，且利用该枢纽使得该至少二光学检测装置于圆弧轨道上移动，以调整该光学检测 装置的倾斜角度。4. 根据权利要求2所述的三维形貌检测装置，其特征在于该圆弧轨道为一体成型。5. 根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：王伟诚，郭世炫，陈金亮，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。