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本发明提供了一种三维形貌检测装置，其包含至少二光学检测装置及一倾斜角度调整机构。该倾斜角度调整机构将至少二光学检测装置架设其上，以调整该光学检测装置的倾斜角度。当至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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